[实用新型]一种提高利用率的旋转硅铝靶组件

权利要求书

1.一种提高利用率的旋转硅铝靶组件，包括管体（1）、端头（11）和靶材（12），所述靶材（12）沿所述管体（1）轴向方向包裹在管体（1）外周，所述管体（1）两端部分别伸出所述靶材（12）的两端，所述端头（11）内径固定套设于所述管体（1）端部，其特征在于：所述管体（1）端部套设具有弹性的环形衬套（2），所述环形衬套（2）与所述管体（1）一体设置，并且所述环形衬套（2）和所述端头（11）之间通过螺纹连接，所述环形衬套（2）的外径大于所述端头（11）的内径。

2.根据权利要求1所述的一种提高利用率的旋转硅铝靶组件，其特征在于：所述端头（11）内径不大于所述靶材（12）使用完的最小外径，所述环形衬套（2）在管体（1）径向上的厚度不大于所述靶材（12）的壁厚。

3.根据权利要求1所述的一种提高利用率的旋转硅铝靶组件，其特征在于：所述环形衬套（2）由硫化橡胶制成，并且所述环形衬套（2）表面设有耐摩擦复合镀膜。

4.根据权利要求3所述的一种提高利用率的旋转硅铝靶组件，其特征在于：所述环形衬套（2）内设有若干个空腔（21），所述空腔（21）内沿环形衬套（2）径向放置有缓冲弹簧（22）。

5.根据权利要求1所述的一种提高利用率的旋转硅铝靶组件，其特征在于：所述管体（1）和靶材（12）之间设有结合层（3），所述结合层（3）的内、外表面粗糙设置。

6.根据权利要求5所述的一种提高利用率的旋转硅铝靶组件，其特征在于：所述结合层（3）包括耐腐层（31）和耐热层（32），所述耐腐层（31）设于管体（1）表面，所述耐热层（32）设于耐腐层（31）表面。

7.根据权利要求6所述的一种提高利用率的旋转硅铝靶组件，其特征在于：所述耐腐层（31）为环氧树脂复合材料层，所述耐热层（32）为环保水性阻燃涂料层。

8.根据权利要求1-7中任一权利要求所述的一种提高利用率的旋转硅铝靶组件，其特征在于：所述靶材（12）为铝硅合金材质，且所述靶材（12）两端厚度大于中间厚度。