[实用新型]一种用于制备石墨烯的智能型基片湿法腐蚀处理装置

权利要求书

1.一种用于制备石墨烯的智能型基片湿法腐蚀处理装置，其特征在于，包括底座(1)、供液机构、清洗盒(2)、密封板(3)、夹持机构、喷头(4)、移动机构、控制器(5)和排气机构，所述供液机构、清洗盒(2)和排气机构依次设置在底座(1)的上方，所述控制器(5)固定在底座(1)的上方，所述控制器(5)内设有PLC，所述密封板(3)位于清洗盒(2)的上方，所述移动机构和夹持机构均设置在密封板(3)的下方，所述移动机构与喷头(4)传动连接，所述喷头(4)与供液机构连接；

所述移动机构包括第一电机(6)、缓冲块(7)、第一驱动轴(8)、滑块(9)、固定杆(10)和摆动组件，所述第一电机(6)和固定杆(10)均固定在密封板(3)的下方，所述固定杆(10)位于第一电机(6)的远离夹持机构的一侧，所述第一电机(6)与PLC电连接，所述第一电机(6)与第一驱动轴(8)的顶端传动连接，所述缓冲块(7)位于第一驱动轴(8)的底端，所述缓冲块(7)与固定杆(10)固定连接，所述滑块(9)套设在第一驱动轴(8)和固定杆(10)上，所述滑块(9)的与第一驱动轴(8)的连接处设有与第一驱动轴(8)匹配的螺纹，所述摆动组件位于滑块(9)的靠近夹持机构的一侧；

所述排气机构包括入气管(11)、处理盒(12)、加料管(13)、加料盒(14)和排气管(15)，所述处理盒(12)固定在底座(1)的上方，所述入气管(11)的一端与清洗盒(2)连通，所述入气管(11)的另一端位于处理盒(12)内的底部，所述排气管(15)位于处理盒(12)的远离入气管(11)的一侧，所述加料盒(14)通过加料管(13)固定在处理盒(12)的上方，所述加料盒(14)通过加料管(13)与处理盒(12)连通，所述加料盒(14)的上方设有盖板，所述加料盒(14)内设有加料组件。

2.如权利要求1所述的用于制备石墨烯的智能型基片湿法腐蚀处理装置，其特征在于，所述供液机构包括支柱(16)、供液盒(17)、第一水管(18)、第二水管(19)、第三水管(20)和水泵(21)，所述供液盒(17)通过支柱(16)固定在底座(1)的上方，所述供液盒(17)的顶端设有注液管，所述供液盒(17)的底端设有排水管，所述排水管上设有排水阀，所述供液盒(17)的底端通过第一水管(18)与喷头(4)连通，所述水泵(21)固定在密封板(3)的上方，所述水泵(21)与PLC电连接，所述水泵(21)通过第三水管(20)与供液盒(17)连通，所述第二水管(19)的顶端与水泵(21)连通，所述第二水管(19)的底端位于清洗盒(2)内的底部。

3.如权利要求2所述的用于制备石墨烯的智能型基片湿法腐蚀处理装置，其特征在于，所述供液盒(17)的底部设有第一PH计(22)，所述处理盒(12)内的底部设有第二PH计(23)，所述第一PH计(22)和第二PH计(23)均与PLC电连接。

4.如权利要求1所述的用于制备石墨烯的智能型基片湿法腐蚀处理装置，其特征在于，所述摆动组件包括托板(24)、第二电机(25)、驱动轮(26)、固定轴(27)和回形框(28)，所述托板(24)固定在滑块(9)上，所述第二电机(25)固定在托板(24)的上方，所述第二电机(25)与PLC电连接，所述第二电机(25)与驱动轮(26)传动连接，所述固定轴(27)固定在驱动轮(26)的远离圆心处，所述固定轴(27)位于回形框(28)内，所述回形框(28)的一端与托板(24)铰接，所述回形框(28)的另一端与喷头(4)固定连接。

5.如权利要求1所述的用于制备石墨烯的智能型基片湿法腐蚀处理装置，其特征在于，所述加料组件包括第三电机(29)、半齿轮(30)、框架(31)、加料杆(32)、加料块(33)和两个齿条(34)，所述第三电机(29)固定在加料盒(14)的内壁上，所述第三电机(29)与PLC电连接，所述第三电机(29) 与半齿轮(30)传动连接，两个齿条(34)分别固定在框架(31)的两侧的内壁上，所述半齿轮(30)位于两个齿条(34)之间，所述半齿轮(30)与齿条(34)啮合，所述加料块(33)通过加料杆(32)固定在框架(31)的下方。