[实用新型]一种温度补偿型晶振真空退火炉密封仓盖

权利要求书

1.一种温度补偿型晶振真空退火炉密封仓盖，其特征是：包括加装仓盖板、主移动轨、封盖横架、封盖，加装仓盖板上设置舱门，加装仓盖板在舱门左右两侧或上下两侧设置两只一组平行设置的主移动轨，两只主移动轨之间横向架设封盖横架，封盖横架上设置紧压件设置槽，紧压件设置槽内悬挂有至少2只吸盘、1只升降气缸，1只压紧气缸，吸盘吸附封盖，升降气缸的机轴铆接封盖并控制封盖在舱门表面的升降，压紧气缸的气缸轴底部设置橡皮压头，橡皮压头贴合在舱门表面；且封盖横架两侧底部匹配主移动轨位置设置微电机滑架，微电机滑架架设在主移动轨的滑轨槽中，随滑轨槽在主移动轨中移动，带动封盖横架在主移动轨上下移动。

2.根据权利要求1所述的一种温度补偿型晶振真空退火炉密封仓盖，其特征是：所述加装仓盖板在舱门底部外沿设置有若干感应器，所述感应器至少包括气密感应器、温度感应器。

3.根据权利要求1所述的一种温度补偿型晶振真空退火炉密封仓盖，其特征是：所述封盖横架的头尾两侧还设置有限位锁气缸。

4.根据权利要求1所述的一种温度补偿型晶振真空退火炉密封仓盖，其特征是：所述主移动轨内侧还设置有微距移动轨，微距移动轨的滑轨槽中设置微距移动电动滑板，微距移动电动滑板带动封盖横架在微距移动轨进行微距移动。

5.根据权利要求1或4所述的一种温度补偿型晶振真空退火炉密封仓盖，其特征是：所述主移动轨的顶部和底部设置有监控光栅感应器。

6.根据权利要求1或3所述的一种温度补偿型晶振真空退火炉密封仓盖，其特征是：所述封盖为不锈钢304板或高耐温防爆玻璃板。

7.根据权利要求1或3所述的一种温度补偿型晶振真空退火炉密封仓盖，其特征是：所述封盖面积比舱门大。

8.根据权利要求1或2所述的一种温度补偿型晶振真空退火炉密封仓盖，其特征是：所述舱门边沿贴合有一圈密封圈。