[实用新型]一种制备具有透镜图案的辊型软模板的装置有效

专利信息
申请号: 201820295243.6 申请日: 2018-03-03
公开(公告)号: CN207937755U 公开(公告)日: 2018-10-02
发明(设计)人: 谷岩;陈修元;张群;董青青;李景鹏;郑恭承;王点正;易正发;戴得恩;冯开拓;田旭;杨继犇;刘阳;张哲名;徐梓苏;苍新宇 申请(专利权)人: 长春工业大学
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00;G02B3/00
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地址: 130012 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 透镜图案 软模板 辊型 制备 本实用新型 钢珠 微纳加工 钢珠套 平坦层 无缝辊 旋转轴 取下 套筒 贴合 筒盖 脱模 制取 装卡 固化 浇筑
【说明书】:

本实用新型公开了一种制备具有透镜图案的辊型软模板的装置,属于微纳加工领域。包括套筒、筒盖、钢珠、钢珠套和平坦层,将本装置装卡至旋转轴上并高速旋转,装置内浇筑PDMS,通过高速旋转使得PDMS贴合在平坦层表面,待PDMS固化完毕后形成具有透镜图案的PDMS软模板,停止高速旋转,将本装置取下并进行脱模,得到具有透镜图案的辊型软模板。本装置可以一步制取具有透镜图案的无缝辊型软模板,并具有结构简单、效率更高和成本低的优点。

技术领域

本实用新型涉及一种制备具有透镜图案的辊型软模板的装置,属于微纳加工领域。

背景技术

近年来,透镜阵列器件广泛应用于光电子系统等各个领域,对光电领域的发展具有重要的作用。微纳压印是一种快速制备透镜阵列的方式,尤其是辊式微纳压印,更加是大大的提高了透镜阵列器件的生产效率。

对于辊型模板而言,又分软模板与硬模板,硬模板的寿命相较软模板更长,但软模板能够更好的贴合衬底,从而压印出更好的微纳图案。对于辊型软模板而言,有直接制备和通过平面模板包覆制备两种方式。平面模板包覆在压印辊上会存在接缝,接缝会使得压印不连续,并且接缝处区域难以施加均匀的压印力,易破坏模板和损坏压印图案。目前,能够直接制备无缝辊型微纳压印的软模板的技术有包括超精密加工、聚焦离子束技术和刻蚀技术在内的许多精密制造技术。但通过精密制造技术制备具有凹陷透镜图案的无缝软模板无疑是十分复杂且耗时耗力的,并且需要昂贵的设备作支撑,这进一步的制约了发展。

发明内容

本实用新型的主要目的在于针对现有技术制备具有透镜图案的无缝辊型软模板需要精密制造技术、昂贵、费时费力的问题,提供一种制备具有透镜图案的辊型软模板的装置,该装置结构简单、效率更高和成本更低。

根据本实用新型目的提出的一种制备具有透镜图案的辊型软模板的装置,其特征在于,包括:套筒、筒盖、钢珠、钢珠套和平坦层,其中,所述的钢珠嵌在钢珠套中,并通过过盈配合固定于套筒之中,平坦层浇筑于钢珠套内表面,筒盖通过螺纹连接固定于套筒之上。

根据本实用新型目的提出的一种制备具有透镜图案的辊型软模板的装置,其特征在于,所述的平坦层为PMMA,浇筑于钢珠套内表面以消除钢珠与钢珠套之间的间隙。

根据本实用新型目的提出的一种制备具有透镜图案的辊型软模板的装置,其特征在于,所述的钢珠直径可为0.5mm至2mm。

根据本实用新型目的提出的一种制备具有透镜图案的辊型软模板的装置,其特征在于,所述的钢珠套上通孔的直径略小于钢珠直径。

附图说明

图1是本实用新型一种制备具有透镜图案的辊型软模板的装置的结构示意图;

图2是本实用新型一种制备具有透镜图案的辊型软模板的装置的内部示意图;

图3是本实用新型一种制备具有透镜图案的辊型软模板的装置所制备的软模板的示意图。

附图标记说明:筒盖-1,平坦层-2,钢珠-3,套筒-4,钢珠套-5,PDMS软模板-6,透镜图案-7。

具体实施方式

下面结合附图和具体实例对本实用新型做进一步说明。

如图1、2所示,本实用新型的一种制备具有透镜图案的辊型软模板的装置,包括:筒盖1、平坦层2、钢珠3、套筒4和钢珠套5,其中,所述的钢珠3嵌在钢珠套5中,并通过过盈配合固定于套筒4之中,平坦层2浇筑于钢珠套5内表面,筒盖1通过螺纹连接固定于套筒4之上,其中,所述的平坦层2为PMMA,浇筑于钢珠套5内表面以消除钢珠3与钢珠套5之间的间隙,所述的钢珠3直径可为0.5mm至2mm,所述的钢珠套5上通孔的直径略小于钢珠3的直径。

如图3所示,本实用新型的一种制备具有透镜图案的辊型软模板的装置所制备的软模板,包括:PDMS软模板6和透镜图案7。

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