[实用新型]压电式麦克风

权利要求书

1.一种压电式麦克风，其特征在于，包括：衬底；

设置在所述衬底上的压电振膜，所述压电振膜与所述衬底之间形成有悬空腔；

设置在所述悬空腔下方的声孔，所述声孔纵向贯穿所述衬底，且

所述声孔的横截面积小于所述压电振膜的横截面积；

所述压电振膜包括至少两个谐振频率不同的组成部分。

2.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于，

每个所述压电振膜的组成部分的谐振频率均不同。

3.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于，

所述压电振膜的组成部分的大小、形状和厚度中的一项或多项不同。

4.根据权利要求3所述的压电式麦克风，其特征在于，

所述压电振膜包括主振动部、至少一个弧形附振动部以及至少一个弧形悬空开口；

所述弧形悬空开口设置在所述弧形附振动部和所述主振动部之间，所述弧形悬空开口与所述弧形附振动部一一对应设置，所述弧形悬空开口包裹所述弧形附振动部的弧形边缘；

所述弧形附振动部和部分所述主振动部间隔分布在所述压电振膜的边缘，且所述弧形悬空开口的两个端点位于所述压电振膜的边缘；

所述主振动部以及至少一个弧形附振动部中，至少有两个振动部的横截面积不相同；

所述压电振膜为中心对称图形。

5.根据权利要求4所述的压电式麦克风，其特征在于，

当所述弧形附振动部的数目大于或等于2时，所述压电振膜的对称中心位于所述主振动部上，任意相邻两个所述弧形悬空开口的两个端点连线的中点与所述压电振膜的对称中心之间的连线的夹角相同。

6.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于，

所述压电振膜为圆形。

7.根据权利要求4所述的压电式麦克风，其特征在于，

所述压电振膜为正多边形，且每条边上分布相等数量的所述弧形附振动部。

8.根据权利要求4所述的压电式麦克风，其特征在于，

所述弧形悬空开口包括两条弧度相同的平滑弧线，以及所述两条弧度相同的平滑弧线之间的间隙；

弧长较小的所述平滑弧线与对应的所述弧形附振动部的弧形边缘重合；

所述平滑弧线为正圆的一部分或者椭圆的一部分；

所述平滑弧线为半圆、优弧或者劣弧中的任意一种。

9.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于，

所述压电振膜包括压电材料；

形成在所述压电材料第一表面的第一电极；

形成在所述压电材料第二表面的第二电极。

10.根据权利要求9所述的压电式麦克风，其特征在于，

所述压电式麦克风还包括信号处理模块，所述信号处理模块的信号输入端与所述第一电极和所述第二电极电连接，用于对所述压电振膜的第一电极和所述压电振膜的第二电极之间的电位差进行处理并输出。