[实用新型]一种离子源灯丝导电支架

说明书

本实用新型公开一种离子源灯丝导电支架，包括连接杆、连接带、导电杆，所述连接杆上部设置电极孔，灯丝的电极插入所述电极孔内；连接杆的下部与连接带的上部固定，连接带的下部与导电杆的上部固定，导电杆的下部固定在圆形基座上；所述连接杆通过固定座固定在源体腔上；连接杆的下部设置圆柱形腔体，导柱嵌入所述圆柱形腔体内，导柱的下端插入导电杆上部的滑动腔内；连接带的长度大于连接杆与导电杆间的距离。本实用新型的优点是：由于采用了分体式的结构，连接杆固定在源体腔的侧壁上减小了温度带来的尺寸变化；而导柱的设置保证了连接杆与导电杆的同轴，由于连接杆固定在源体腔上，导电杆固定在圆形基座上，因此保证了源体腔的径向位置固定。

技术领域

本实用新型涉及半导体装备技术，具体说是一种离子源。

背景技术

离子源是通过向弧光室主阴极加压，将充入弧光室的惰性气体经辉光放电电离成等离子体，经离子光学系统引出带正电的离子束，经过下游端的中和阴极向离子束发射与束电流等量的电子流进行电荷中和，生成高能高速的中性离子束。

弧光室的上方为发射面板，发射面板的中心设置条形槽，气体自弧光室的侧板上的气体入口进入后，被灯丝(filament)电离后形成等离子体，最后经上方的发射面板输出；现有技术的灯丝固定方式一般采用将灯丝的电极插入导电支架上的灯丝孔内，导电支架固定在源体腔的外侧；由于工作时，源体腔的温度极高，造成导电支架的尺寸发生变化，进而影响了灯丝的定位，最终影响了电离效果。

发明内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种导电支架，可有效解决上述技术问题。具体技术方案如下：

一种离子源灯丝导电支架，包括连接杆、连接带、导电杆，所述连接杆上部设置电极孔，灯丝的电极插入所述电极孔内；连接杆的下部与连接带的上部固定，连接带的下部与导电杆的上部固定，导电杆的下部固定在圆形基座上；所述连接杆通过固定座固定在源体腔上；连接杆的下部设置圆柱形腔体，导柱嵌入所述圆柱形腔体内，导柱的下端插入导电杆上部的滑动腔内；连接带的长度大于连接杆与导电杆间的距离。

所述连接带为弧形。

所述连接带片状的弧形。

本实用新型的优点是：由于采用了分体式的结构，连接杆固定在源体腔的侧壁上，因此，连接杆的位置固定；连接杆的材料为钼，连接带的材料为银，这样，将随温度变化小的材料设置在源体腔上并与灯丝直接固定，减小了温度带来的尺寸变化；而导柱的设置保证了连接杆与导电杆的同轴，由于连接杆固定在源体腔上，导电杆固定在圆形基座上，因此也保证了源体腔的径向位置固定。

附图说明

图1为离子源的整体结构示意图；

图2为导电支架的结构示意图；

图中，1为圆形基座，2为源体腔，3为弧光室，4为发射面板，5为条形槽，6为气体进口端，7为定位凸台，8为拉簧，9为固定杆，10为灯丝支架，11为固定座，12为连接杆，13为导电杆，14为连接带，15为导柱。

具体实施方式

下面结合附图具体说明本实用新型，如图所示，圆形基座1上方设置源体腔2，源体腔2内设置加热坩埚，源体腔2的上方设置弧光室3，弧光室3的最上方为发射面板4；所述源体腔的上方设置定位凸台7，所述定位凸台7上设置通孔，固定杆9穿过所述通孔，固定杆9的上方挂钩压在发射面板4的上方，固定杆9的下方与拉簧8连接，拉簧8固定在圆形基座1上；所述固定杆9为多个，沿发射面板4的纵向轴线对称设置。