[实用新型]一种带有过滤功能的金属弧靶

权利要求书

1.一种带有过滤功能的金属弧靶，包括安装座，所述安装座上设置有用于镀至被镀工件表面的金属靶源以及与阴极相连的电极座，所述金属靶源上设置有一受轰击并溅射出电子、金属离子及金属颗粒的溅射面，所述金属靶源连接设置于电极座，其特征在于：所述安装座位于溅射面位置设置有用于过滤溅射面上溅射出来的金属颗粒的过滤挡板，所述过滤挡板包括沿远离溅射面外径逐渐变小的若干环状挡板以及用于封闭外径最小的环状挡板的环口的环口封闭板，相邻所述环状挡板中，外径较大的环状挡板的内径小于外径较小的环状挡板的外径，相邻所述环状挡板之间设置有用于连接两环状挡板的连接件。

2.根据权利要求1所述的一种带有过滤功能的金属弧靶，其特征在于：所述环状挡板数量为5片，外径从大到小分别为第一挡板、第二挡板、第三挡板、第四挡板及第五挡板。

3.根据权利要求1所述的一种带有过滤功能的金属弧靶，其特征在于：所述连接件包括间隙柱及连接螺帽，相邻两所述环状挡板中外径较大的挡板上沿轴向贯穿设置有第一安装通孔，相邻两所述环状挡板中外径较小的挡板对应第一安装通孔位置沿径向延伸设置有安装延伸部，所述安装延伸部上对应第一安装通孔设置有第二安装通孔，所述间隙柱轴向两端分别朝向第一安装通孔及第二安装通孔，且间隙柱的半径大于第一安装通孔的半径及第二安装通孔的半径，所述间隙柱朝向第一安装通孔侧设置有与第一安装通孔半径相适配的第一螺纹插杆，所述间隙柱朝向第二安装通孔侧设置有与第二安装通孔半径相适配的第二螺纹插杆，各所述连接螺帽分别与第一螺纹插杆及第二螺纹插杆螺纹配合，实现环状挡板与间隙柱的固定。

4.根据权利要求3所述的一种带有过滤功能的金属弧靶，其特征在于：相邻两所述环状挡板中外径较大的挡板上的第一安装通孔的数量为两个，两个所述第一安装通孔以对应环状挡板的轴向为对称轴对称设置，相邻两所述环状挡板中外径较小的挡板上的第二安装通孔的数量为两个，两个所述第二安装通孔以对应环状挡板的轴向为对称轴对称设置。

5.根据权利要求4所述的一种带有过滤功能的金属弧靶，其特征在于：所述环状挡板中两个第一安装通孔轴向之间的距离的连线与两个第二安装通孔轴向之间的距离的连线相互垂直。