[实用新型]一种具有清洁功能的真空镀膜机

说明书

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，且公开了一种具有清洁功能的真空镀膜机，包括机体，机体内腔的底部通过固定杆固定连接有底板，底板内腔底部的中部贯穿并通过轴承活动连接有转轴，转轴的底部固定连接有电机，转轴的顶部固定连接有转盘，转盘顶部的侧面固定连接有连接杆，连接杆顶部贯穿底板顶部开设的滑槽并与滑槽活动连接，连接杆靠近机体内壁的一侧固定连接有毛刷，机体的底部固定连接有导管，导管的顶部贯穿机体的底部与导流板的底部固定连接，导管的底部固定连接有收集箱。本实用新型通过电机带动转盘转动使连接杆在滑槽内转动使毛刷对机体的内壁进行清洗，具备便于对真空镀膜机的内壁进行清洗的优点。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种具有清洁功能的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。

在光学元件真空镀膜过程中，由镀膜源发出的镀膜材料蒸汽被沉积到被镀光学元件的同时，也会部分溅射并沉积到镀膜机内腔的表面，并随镀膜次数及时间的增加，越累越厚，而这些沉积物在内腔及夹具表面的附着并不稳固，在光学元件镀膜过程中极易脱落到被镀光学元件上，但是现有的真空镀膜机不便于对其的内壁进行清洗，易造成镀膜材料影响光学元件的镀膜。

实用新型内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种具有清洁功能的真空镀膜机，具备便于对真空镀膜机的内壁进行清洗的优点，解决了现有的真空镀膜机不便于对其的内壁进行清洗，易造成镀膜材料影响光学元件镀膜的问题。

（二）技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有清洁功能的真空镀膜机，包括机体，所述机体内腔的底部固定连接有固定杆，所述固定杆的顶部固定连接有底板，所述底板内腔底部的中部贯穿并通过轴承活动连接有转轴，所述转轴的底部固定连接有电机，所述转轴的顶部固定连接有转盘，所述转盘顶部的侧面固定连接有连接杆，所述连接杆顶部贯穿底板顶部开设的滑槽并与滑槽活动连接，所述连接杆靠近机体内壁的一侧固定连接有毛刷。

所述机体的底部固定连接有导管，所述导管的顶部贯穿机体的底部与导流板的底部固定连接，所述导流板远离导管的一端分别与机体的内壁和固定杆的侧面固定连接，所述导管的底部固定连接有收集箱，所述收集箱的内部活动连接有抽屉。

优选的，所述电机的外表面套接有防护箱，所述防护箱的顶部与底板的底部固定连接，所述防护箱的底部与机体内腔的底部固定连接。

优选的，所述连接杆的数量为两个，两个连接杆对称分布在转盘的顶部。

优选的，所述导管的数量为两个，两个导管对称分布在机体底部的两侧。

优选的，所述机体的底部固定连接有支撑杆，所述支撑杆的形状为长方形。

优选的，所述抽屉的正面固定连接有拉把，所述拉把的外表面套接有橡胶套。

（三）有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种具有清洁功能的真空镀膜机，具备以下有益效果：

1、该具有清洁功能的真空镀膜机，通过电机带动转盘转动使连接杆在滑槽内转动使毛刷对机体的内壁进行清洗，具备便于对真空镀膜机的内壁进行清洗的优点，解决了现有的真空镀膜机不便于对其的内壁进行清洗，易造成镀膜材料影响光学元件镀膜的问题，本实用新型可快速对机体的内壁进行清洗，增加了对机体内壁清洗的效率。