[实用新型]化学研磨装置有效
| 申请号： | 201820264904.9 | 申请日： | 2018-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN208068038U | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 王跃;石永芳;李晓波;何昱岑;彭洋;陈洪宇 | 申请（专利权）人： | 重庆第二师范学院 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 400067 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃基板 研磨液 化学研磨 储存箱 放置架 耐酸阀 氟酸 浴箱 加工技术领域 本实用新型 吊装设备 封闭状态 研磨处理 挥发量 耐酸泵 连带 取放 取出 | ||
1.一种化学研磨装置，其特征在于，包括：
研磨液储存箱，所述研磨液储存箱设置有循环回液口、补液口和两个出液口，所述研磨液储存箱的补液口和其中一个出液口均设置有密封塞；
研磨液浴箱，所述研磨液浴箱固定安装于所述研磨液储存箱的上方，其顶部设置有浴箱密封盖，侧壁由上至下依次开设有若干扁平状的浴箱进液口，底部设置有循环排液口，所述研磨液浴箱的循环排液口与所述研磨液储存箱的循环回液口之间通过耐酸阀连接；
玻璃基板放置架，所述玻璃基板放置架放置于所述研磨液浴箱内，且由上至下依次设置有多层网状结构的玻璃支撑板，每层所述玻璃支撑板均对应一个所述浴箱进液口；
耐酸泵，所述耐酸泵的进口与所述研磨液储存箱的另一个出液口连接；
分液器，所述分液器由一根分液总管和若干与所述分液总管连接的分液支管组成，所述分液支管的出口为与所述浴箱进液口形状相匹配的长条形矩形口，所述分液支管与所述浴箱进液口一一对应连接，所述分液总管与所述耐酸泵的出口连接。
2.根据权利要求1所述的化学研磨装置，其特征在于，所述研磨液储存箱和所述研磨液浴箱均设置有透明的观察窗。
3.根据权利要求1所述的化学研磨装置，其特征在于，所述研磨液浴箱的底部为漏斗状，且漏斗底口作为所述研磨液浴箱的循环排液口。
4.根据权利要求1所述的化学研磨装置，其特征在于，所述研磨液储存箱的两个出液口均设置于侧下部，补液口设置有侧上部，循环回液口设置于顶部。
5.根据权利要求1所述的化学研磨装置，其特征在于，所述玻璃基板放置架和所述浴箱密封盖均设置有吊环。
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