[实用新型]低温卧式气氛合成炉

权利要求书

1.一种低温卧式气氛合成炉，其特征在于，所述低温卧式气氛合成炉包括：

蒸发器，所述蒸发器用于提供反应气体和保护气体；

管式电阻炉，所述管式电阻炉内盛放有固体物料，并且所述管式电阻炉通过气管与所述蒸发器相连接以接收反应气体和保护气体；和

冷凝设备，所述冷凝设备通过气管与所述管式电阻炉相连接以从所述管式电阻炉接收并冷凝反应后的剩余气体，

其中，所述管式电阻炉包括：

炉体；

石英管，所述石英管设置在所述炉体的中央，并且所述石英管的两端延伸出所述炉体并分别通过气管与所述蒸发器和所述冷凝设备相连接；

电阻炉加热装置，所述电阻炉加热装置沿着所述石英管的侧面设置；

石墨舟，所述石墨舟设置在所述石英管的中心，所述石墨舟内盛放有固体物料；和

控制装置，所述控制装置与所述电阻炉加热装置相连接，并且用于监测并控制所述石英管内的反应条件。

2.根据权利要求1所述的低温卧式气氛合成炉，其特征在于，所述蒸发器包括：

蒸发瓶，所述蒸发瓶用于盛放待汽化的反应气体，并且所述蒸发瓶通过气管分别连接到外部气体存储装置和所述石英管；和

蒸发加热装置，所述蒸发加热装置用于加热所述蒸发瓶。

3.根据权利要求2所述的低温卧式气氛合成炉，其特征在于，所述蒸发加热装置为水浴加热装置。

4.根据权利要求2所述的低温卧式气氛合成炉，其特征在于，所述管式电阻炉还包括抽真空装置，所述抽真空装置通过气管与所述石英管相连接。

5.根据权利要求1所述的低温卧式气氛合成炉，其特征在于，所述石英管的所述两端分别通过法兰盖板进行密封。

6.根据权利要求1所述的低温卧式气氛合成炉，其特征在于，沿着所述石英管的截面分别在所述石墨舟的两端设置隔温层。

7.根据权利要求1所述的低温卧式气氛合成炉，其特征在于，所述管式电阻炉还包括：

保温层，所述保温层设置在所述炉体与所述石英管之间。

8.根据权利要求1所述的低温卧式气氛合成炉，其特征在于，所述低温卧式气氛合成炉还包括第一支架，所述管式电阻炉设置在所述第一支架上。

9.根据权利要求1所述的低温卧式气氛合成炉，其特征在于，所述电阻炉加热装置为电阻丝。

10.根据权利要求1所述的低温卧式气氛合成炉，其特征在于，所述冷凝设备包括：

冷却腔，所述冷却腔通过气管与所述石英管相连接；和

水封过滤腔，所述水封过滤腔通过内部气管与所述冷却腔连通以从所述冷却腔接收不冷凝气体，所述水封过滤腔的顶部设置排气口。

11.根据权利要求10所述的低温卧式气氛合成炉，其特征在于，所述水封过滤腔的没有盛放液体的空间通过设置有阀门的气管与所述冷却腔相连接。

12.根据权利要求1所述的低温卧式气氛合成炉，其特征在于，所述低温卧式气氛合成炉还包括第二支架，所述冷凝设备设置在所述第二支架上。