[实用新型]一种硅片花篮有效
申请号: | 201820250320.6 | 申请日: | 2018-02-12 |
公开(公告)号: | CN207752987U | 公开(公告)日: | 2018-08-21 |
发明(设计)人: | 唐亚忠 | 申请(专利权)人: | 苏州卓樱自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人: | 夏平 |
地址: | 215614 江苏省苏州市张家*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 上端板 矫正 下端板 硅片插槽 硅片花篮 限位销 送片 皮带 等腰三角形分布 本实用新型 硅片位置 相对设置 侧中部 插槽板 出料侧 定位销 上表面 下表面 限位杆 上端 硅片 插槽 施力 下端 配合 装配 花篮 简易 | ||
本实用新型公开了一种装配简易、后期可矫正的硅片花篮,包括相对设置的上端板与下端板,上端板与下端板间通过若干定位销相对设有两块硅片插槽板,上端板上表面与下端板下表面分别设有三个用于施力以矫正花篮的矫正销,其中两个矫正销分布与上端板前侧,另一个个矫正销分布于上端板后侧中部,且三个矫正销成等腰三角形分布,硅片插槽板上端设有与上端板相配合的限位销,硅片插槽板下端设有与下端板相配合的限位销;上端板与下端板间在送片皮带的出料侧设有两根限制硅片位置使送片皮带上的硅片留置于插槽板得插槽中的限位杆。
技术领域
本实用新型涉及一种硅片花篮。
背景技术
硅片花篮是插片机插片过程的重要组成部分,该部件的性能直接影响到插片机插片时的稳定性、插片质量、插片数量。目前花篮生产厂家普遍设计为上下不对称,片槽与安装杆采用装配工艺。上下不对称设计容易导致方向弄错后不能正常插片;片槽与安装杆采用装配工艺,导致硅片花篮容易变形且精度相对差,最终导致硅片生产效率低下。本实用新型旨在降低硅片花篮的出错率并提高花篮的稳定性,提高产量并减少不必要的损失。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种装配简易、后期可矫正的硅片花篮。
为解决上述技术问题,本实用新型所采用的技术方案为:一种硅片花篮,包括相对设置的上端板与下端板,上端板与下端板间通过若干定位销相对设有两块硅片插槽板,上端板上表面与下端板下表面分别设有三个用于施力以矫正花篮的矫正销,其中两个矫正销分布与上端板前侧,另一个个矫正销分布于上端板后侧中部,且三个矫正销成等腰三角形分布,硅片插槽板上端设有与上端板相配合的限位销,硅片插槽板下端设有与下端板相配合的限位销;上端板与下端板间在送片皮带的出料侧设有两根限制硅片位置使送片皮带上的硅片留置于插槽板得插槽中的限位杆。
作为一种优选的方案,上端板与下端板间还设有两根加强杆。
作为一种优选的方案,所述的上端板与下端板均冲裁出容纳硅片输送带末端的缺口。
作为一种优选的方案,所述的硅片插槽板为注塑成型的硅片插槽板。
作为一种优选的方案,硅片花篮整体为上下对称结构。
本实用新型的有益效果是:
由于硅片插片塑料板采用注塑一体式,减少了人工装配流程,提高与保障了硅片花篮的精度与耐用度,减少了硅片花篮生产的前期投入,且硅片花篮上设有矫正销,可后期对硅片花篮进行精度调整,进一步扩大在后期维护上的优势。
硅片花篮整体采用上下对称结构,零部件图纸简洁在加工成本上具有一定优势,在装配上不易混装出错,在生产时不会因花篮颠倒放错而无法插片,大大提高了加工、装配、生产的便捷性和减少错误率。
附图说明
图1是本实用新型的主视结构示意图。
图2是本实用新型的左视结构示意图。
图3是本实用新型的俯视结构示意图。
图4是本实用新型的等轴侧视结构示意图。
图1至图4中:1.上端板,2.矫正销,3.硅片限位杆,4.定位销,5加强杆,6.硅片插槽塑料板,7.限位销,8.下端板。
具体实施方式
下面结合附图,详细描述本实用新型的具体实施方案。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造