[实用新型]铬平面靶热等静压装置有效
| 申请号： | 201820245947.2 | 申请日： | 2018-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN207904354U | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 张中美 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/15 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 林晓宏 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 陶瓷珠 靶材 炉腔 热等静压 热等静压炉 热等静压装置 本实用新型 流动间隙 平面靶 形变 高温高压环境 工件放置 热形变 压盖层 圆球体 侧弯 炉具 内壁 填充 生产成本 报废 覆盖 流动 配合 | ||
【权利要求书】：
1.铬平面靶热等静压装置，包括热等静压炉，热等静压炉具有用于放置靶材工件的炉腔，其特征在于：在热等静压炉的炉腔内填充有陶瓷珠，陶瓷珠为圆球体形状，且该陶瓷珠具有流动性；炉腔内的陶瓷珠的中部形成一靶材工件热等静压空间，靶材工件放置于靶材工件热等静压空间，在靶材工件与炉腔的内壁之间具有流动间隙；陶瓷珠填充满靶材工件与炉腔之间的流动间隙，且在靶材工件的上方覆盖有一层陶瓷珠而形成一陶瓷珠流动压盖层。
2.根据权利要求1所述的铬平面靶热等静压装置，其特征在于：所述陶瓷珠的直径小于所述流动间隙的0.5倍。
3.根据权利要求1所述的铬平面靶热等静压装置，其特征在于：所述炉腔的底部铺设有一陶瓷珠流动承托层，所述靶材工件的底面压置于陶瓷珠流动承托层之上。
4.根据权利要求3所述的铬平面靶热等静压装置，其特征在于：所述陶瓷珠流动压盖层的顶面与所述炉腔的顶面之间的距离控制在10～20cm，以形成一调节空间。
5.根据权利要求3所述的铬平面靶热等静压装置，其特征在于：所述陶瓷珠流动承托层的厚度为3～5cm，覆盖在所述靶材工件上方的所述陶瓷珠流动压盖层的厚度为3～20cm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞市欧莱溅射靶材有限公司，未经东莞市欧莱溅射靶材有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820245947.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：汽车灯罩免底漆镀铝装置
- 下一篇：一种旋转铬硅靶材
- 同类专利
- 专利分类
