[实用新型]一种用于空心叶片气膜孔激光加工的穿透监测系统

权利要求书

1.一种用于空心叶片气膜孔激光加工的穿透监测系统，其特征在于，所述穿透监测系统包括分光件和穿透监测机构，所述穿透监测机构包括中继组件、成像器件和调焦组件；

所述分光件位于激光的加工光路中，用于透射加工激光以及反射加工激光的反射光形成监测光路，所述加工光路垂直于所述监测光路；

所述中继组件位于所述监测光路中，用于调制所述监测光路的监测光，得到需要的放大率和线视场；

所述成像器件接收经所述中继组件调制的监测光；

所述调焦组件用于根据不同加工距离调节所述成像器件与所述中继组件之间的相对间距，以使所述成像器件在最佳像面位置获取监测光图像。

2.根据权利要求1所述的穿透监测系统，其特征在于，所述穿透监测系统进一步包括控制单元，所述控制单元与激光器、成像器件、调焦组件电连接，用于控制所述调焦组件驱动所述成像器件沿监测光路的方向移动、实时计算所述成像器件在每一移动位置的图像清晰度值，以及将各个移动位置的图像清晰度值进行比较找出最大值，图像清晰度的最大值所在的移动位置即成像器件的最佳像面位置；所述控制单元还配置成在所述成像器件处于最佳像面位置时对获取的监测光图像进行穿透判断，智能判断气膜孔的穿透状态。

3.根据权利要求2所述的穿透监测系统，其特征在于，所述控制单元还用于对气膜孔的孔型和孔径进行在线测量，当测量值超出设定阈值时，实时结束加工过程。

4.根据权利要求1所述的穿透监测系统，其特征在于，所述中继组件包括镜筒和设置于镜筒中的透镜组件；所述调焦组件包括电机、丝杠螺母机构和转接座，所述电机的输出端连接所述丝杠螺母机构的滚珠丝杠，所述转接座连接所述丝杠螺母机构的丝杠螺母和所述成像器件，所述电机带动所述丝杠螺母机构的滚珠丝杠转动，滚珠丝杠的旋转运动通过丝杠螺母和转接座转换为成像器件的直线运动。

5.根据权利要求4所述的穿透监测系统，其特征在于，所述穿透监测机构进一步包括滤光片，所述滤光片固定安装在所述成像器件接收所述监测光路的前端。

6.根据权利要求4所述的穿透监测系统，其特征在于，所述穿透监测机构进一步包括遮光筒，所述遮光筒的一端与所述转接座连接，另一端滑动接合于所述镜筒的外部。

7.根据权利要求4所述的穿透监测系统，其特征在于，所述调焦组件还包括直线导轨，所述成像器件滑动设置于所述直线导轨上。

8.根据权利要求4所述的穿透监测系统，其特征在于，所述穿透监测机构进一步包括第一光电开关和第二光电开关，所述第一光电开关和第二光电开关分别设置于所述成像器件的运动行程两端。

9.根据权利要求4所述的穿透监测系统，其特征在于，所述穿透监测机构进一步包括限位块，所述限位块用于限制所述成像器件的运动行程。

10.根据权利要求4所述的穿透监测系统，其特征在于，所述电机为步进电机。