[实用新型]一种硅片切割用冷却水回收过滤装置

权利要求书

1.一种硅片切割用冷却水回收过滤装置，包括工作台（1）、连接管（4）、水管（8）和出水口（20），其特征在于：所述工作台（1）的内部镶嵌有横管（2），且横管（2）的上方设置有进水口（3），所述连接管（4）连接在横管（2）的下表面，且连接管（4）的末端连接有一级水泵（5），所述一级水泵（5）的右侧设置有机体（6），且机体（6）内部的右侧设置有过滤室（7），所述水管（8）连接在一级水泵（5）的右侧，且水管（8）穿插在机体（6）的内部，所述水管（8）上连接有喷水管（9），且喷水管（9）上设置有喷头（10），所述喷头（10）的右侧设置有过滤装置（11），且过滤装置（11）的两侧边设置有密封垫（12），所述过滤装置（11）通过固定螺栓（13）与过滤室（7）的体壁相连接，且过滤室（7）的右侧连接有二级水泵（14），所述二级水泵（14）通过出水管（15）与制冷室（17）相连接，且二级水泵（14）的上方设置有制冷机（16），所述制冷机（16）上连接有制冷管（19），且制冷管（19）放置在放置架（18）的内部。

2.根据权利要求1所述的一种硅片切割用冷却水回收过滤装置，其特征在于：所述进水口（3）等距离的设置在横管（2）上，且进水口（3）的上表面与工作台（1）的上表面齐平。

3.根据权利要求1所述的一种硅片切割用冷却水回收过滤装置，其特征在于：所述喷头（10）均匀的分布在喷水管（9）上，且喷头（10）分布的面积与过滤装置（11）的面积相等。

4.根据权利要求1所述的一种硅片切割用冷却水回收过滤装置，其特征在于：所述过滤装置（11）包括第一过滤网（1101）、活性炭层（1102）和第二过滤网（1103），第一过滤网（1101）设置在过滤装置（11）的内部，且第一过滤网（1101）的右侧设置有活性炭层（1102），活性炭层（1102）的右侧设置有第二过滤网（1103）。

5.根据权利要求1所述的一种硅片切割用冷却水回收过滤装置，其特征在于：所述制冷管（19）的形状为“S”形，且制冷管（19）的宽度和高度与制冷室（17）的宽度与高度相等。

6.根据权利要求1所述的一种硅片切割用冷却水回收过滤装置，其特征在于：所述出水口（20）设置在机体（6）右侧底部，且出水口（20）的下边与机体（6）的底面在同一水平面上。