[实用新型]一种等离子发生器

说明书

本实用新型公开了一种等离子发生器，包括石英管、电极棒、第一主体和第二主体，所述电极棒容置于所述石英管内；所述石英管的侧壁设有开口，且所述开口的长度等于石英管的长度；所述第一主体和第二主体沿石英管的径向相对于石英管对称分布；所述第一主体和第二主体上均设置有导流通道，所述导流通道的出口端靠近所述石英管的外壁设置，以使气流能够沿石英管的外壁流动。本实用新型设计开槽式的石英管，可防止在冷热变化中石英管发生热胀冷缩而引起的爆裂；本实用新型气流的出口可沿整个石英管的长度方向排布，电离出的等离子束比较长，处理大面积工件时效率更高；石英管外壁的导流作用也使得整个装置工作时的噪音更小。

技术领域

本实用新型涉及等离子技术领域，尤其涉及一种等离子发生器。

背景技术

目前，公知的低温等离子发生装置采用石英等作为介质材料，在未工作时，石英管为常温状态，在工作过程中，由于石英管接触高温气流急剧升温容易发生炸裂，导致等离子发生装置损坏。而且在现有技术中，电离气体也都是在石英管内部流动发生电离，等离子束的出口基本都是石英管的端口，导致等离子束的工作面较小，对于大面积工件来说，现有的这些等离子发生装置的工作效率太低。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种等离子发生器，不仅能够防止石英管损坏，而且具有较高的工作效率。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：

一种等离子发生器，包括石英管、电极棒、第一主体和第二主体，所述电极棒容置于所述石英管内；所述石英管的侧壁设有开口，且所述开口的长度等于石英管的长度；所述第一主体和第二主体沿石英管的径向相对于石英管对称分布；所述第一主体和第二主体上均设置有导流通道，所述导流通道的出口端靠近所述石英管的外壁设置，以使气流能够沿石英管的外壁流动。

进一步的，所述电极棒内设置有冷却流体通道，所述冷却流体通道的长度方向与所述电极棒的长度方向一致；所述冷却流体通道的入口和出口分别靠近所述电极棒的两端设置。

进一步的，还包括电源输入端子和电极连接件，所述电极连接件位于所述开口内且与所述电极棒相连接，所述电极连接件与所述电源输入端子电连接。

进一步的，所述电极连接件为T型件，所述T型件的底端位于所述开口内，所述T型件的顶端电连接于电源输入端子。

进一步的，还包括盖板和电极固定件，所述盖板盖设于所述第一主体和第二主体的顶部，所述电极固定件固定于所述盖板的底部且位于第一主体和第二主体之间，所述T型件的顶端固定于所述电极固定件上。

进一步的，所述第一主体和第二主体均包括布气底板，所述布气底板上设置有通气槽，所述通气槽的长度方向与石英管的长度方向平行；所述通气槽靠近石英管的一侧侧壁上设置有多个出气孔，所述出气孔用于将通气槽内的气流导出至石英管外壁上。

进一步的，所述多个出气孔沿石英管的长度方向均匀分布。

进一步的，所述第一主体和第二主体均包括支撑件，所述支撑件设置于所述布气底板的顶部，所述支撑件上设置有输气通孔，所述输气通孔的底端与所述通气槽相连通。

进一步的，还包括布气管道，所述布气管道连接于所述输气通孔的顶端。

进一步的，所述第一主体和石英管之间以及第二主体和石英管之间分别设置有密封垫，所述密封圈位于所述导流通道的出口端的上方。