[实用新型]基于石墨烯-微纳光纤的高速行波电光调制器

权利要求书

1.一种基于石墨烯-微纳光纤的高速行波电光调制器，其特征在于：包括微纳光纤（1）、顶层石墨烯（3）、右侧电极（5）、基底层（6）、左侧电极（7）、介质层（8）、底层石墨烯（9）；左侧电极（7）和右侧电极（5）为共面带结构的行波电极，在基底层（6）上，所述微纳光纤（1）置于顶层石墨烯（3）和底层石墨烯（9）之间，并位于共面带电极中间，所述介质层（8）隔离顶层石墨烯（3）和底层石墨烯（9）。

2.根据权利要求1所述的基于石墨烯-微纳光纤的高速行波电光调制器，其特征在于：所述右侧电极（5）为信号电极，高速射频信号传播方向与光在光纤中一致，左侧电极（7）为接地电极。

3.根据权利要求1所述的基于石墨烯-微纳光纤的高速行波电光调制器，其特征在于：所述介质层（8）为厚度为6nm±10%的三氧化二铝介质层。

4.根据权利要求1所述的基于石墨烯-微纳光纤的高速行波电光调制器，其特征在于：所述基底层（6）为氟化镁基底层。

5.根据权利要求1所述的基于石墨烯-微纳光纤的高速行波电光调制器，其特征在于：所述顶层石墨烯（3）和底层石墨烯（9）为厚度为0.7nm±10%的单层石墨烯。

6.根据权利要求1所述的基于石墨烯-微纳光纤的高速行波电光调制器，其特征在于：所述微纳光纤（1）的直径为2.2μm±10%。

7.根据权利要求1所述的基于石墨烯-微纳光纤的高速行波电光调制器，其特征在于：所述基底层（6）的折射率为1.378。

8.根据权利要求1所述的基于石墨烯-微纳光纤的高速行波电光调制器，其特征在于：所述行波电极结构参数为：电极厚度为2μm，电极宽为176μm，电极间距为12μm，采用行波电极结构来实现光速率与电信号速率相匹配。