[实用新型]一种切割设备的视觉检测装置

说明书

本实用新型提出一种切割设备的视觉检测装置，涉及自动检测设备技术领域，包括多个固定轮、两个背光模组及摄像模组，所述固定轮用以卷绕固定切割线，并带动所述切割线横向位移，两个所述背光模组设置于所述固定轮的两侧，且所述背光模组用以照射检测区域，所述摄像模组设置在所述背光模组下方，拍摄通过检测区域的切割线并产生影像资料。

技术领域

本实用新型涉及自动检测设备技术领域，尤其是一种切割设备的视觉检测装置。

背景技术

目前切割晶圆的切割线大多需要经过电镀等多个工序才可制作而成，在执行该工序的过程中，难免会有些状况造成切割线具有瑕疵，例如于电镀工序时磨粒无法被均匀镀于切割线表面或是磨粒附着不牢固，然而，现有的切割线工序中，并未设置检测装置，均是在切割线制作完成后直接执行收线作业，如此一来，质量较差的切割线无法被立即检测出，影像后续晶圆切割过程。

实用新型内容

本实用新型提供一种切割设备的视觉检测装置，可在切割线制作完成以待进行收线前对切割线进行质量检测。

本实用新型具体采用如下技术方案实现：

一种切割设备的视觉检测装置，包括多个固定轮、两个背光模组及摄像模组，所述固定轮用以卷绕固定切割线，并带动所述切割线横向位移，两个所述背光模组设置于所述固定轮的两侧，且所述背光模组用以照射检测区域，所述摄像模组设置在所述背光模组下方，拍摄通过检测区域的切割线并产生影像资料。

作为优选，还包括固定支架及调整件，所述固定支架设置在固定轮的一侧，所述调整件架设于所述固定支架上并连接所述摄像模组，所述调整件活动性的带动所述摄像模组相对所述固定支架纵向或横向位移。

作为优选，还包括盒体，所述盒体相对的两侧分别设有通口，所述通口分别提供切割线移入及移出。

作为优选，还包含有处理模块及警示模块，所述处理模块及警示模块设置在所述盒体上，且所述处理模块电性连接所述摄像模组及警示模块。

附图说明

图1是本实用新型切割设备的视觉检测装置的立体图；

图2是本实用新型切割设备的视觉检测装置的右视图。

具体实施方式

为进一步说明各实施例，本实用新型提供有附图。这些附图为本实用新型揭露内容的一部分，其主要用以说明实施例，并可配合说明书的相关描述来解释实施例的运作原理。配合参考这些内容，本领域普通技术人员应能理解其他可能的实施方式以及本实用新型的优点。图中的组件并未按比例绘制，而类似的组件符号通常用来表示类似的组件。

现结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。

如图1所示，本实施例提供的一种切割设备的视觉检测装置10，包括盒体11、多个固定轮12、两个背光模组13、固定支架14、调整件15及摄像模组16。盒体11相对的两侧分别设有通口111，各通口111分别提供切割线20移入及移出。多个固定轮12设置于盒体11的内部，固定轮12可用以卷绕固定切割线20，并带动切割线20横向位移。两个背光模组13设置于盒体的内部并分别对向设置在多个固定轮12的两侧，且背光模组13可用以照射光源至检测区域A，提高营销拍摄时的亮度。固定支架14设置在盒体11的内部并在固定轮12的一侧。调整件15设置在盒体11内部，且调整件15架设于固定支架14上并连接摄像模组16，该调整件15经控制可活动性的带动摄像模组16相对固定支架14纵向或横向位移。摄像模组16设置在两个背光模组13的上方，其可用以拍摄通过检测区域A的切割线20并产生影响资料。

本申请的视觉检测装置10还包含有处理模块(未图示)及警示模块(未图示)，处理模块及警示模块可设置在盒体11上，且处理模块电性连接摄像模组16及警示模块。