[实用新型]硅基光波导模斑转换器有效
| 申请号： | 201820186921.5 | 申请日： | 2018-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN208060765U | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 秦子翔;彭超;张仙;刘洋;温雪沁;刘柳;陈伟 | 申请（专利权）人： | 苏州易缆微光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 滕诣迪 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光波导 绝缘体层 波导 硅基光波导 模斑转换器 本实用新型 上包层 衬底 单模光纤 端面连接 锥型透镜 光波 场光纤 两层 梯型 小模 锥型 叠加 横贯 光纤 | ||
1.一种硅基光波导模斑转换器，其特征在于：包括：上包层、绝缘体层、衬底、第一光波导、第二光波导和第三光波导，所述绝缘体层置于所述衬底上，所述第一光波导设置于所述绝缘体层上方一侧，所述第二光波导置于所述绝缘体层上，横贯绝缘体层并包裹所述第一光波导，所述第三光波导置于所述第二光波导上远离所述第一光波导的一侧；所述第一光波导为三角形，底边朝向远离所述第三光波的一侧，第二光波导与所述第三光波导两端均为梯型；所述上包层置于所述绝缘体层上并包裹住所述第二光波导、所述第三光波导。
2.根据权利要求1所述的硅基光波导模斑转换器，其特征在于：所述上包层为二氧化硅，厚度在1-5um之间；所述绝缘体层（2）为二氧化硅，厚度在1-5um之间。
3.根据权利要求1所述的硅基光波导模斑转换器，其特征在于：所述衬底为硅。
4.根据权利要求1所述的硅基光波导模斑转换器，其特征在于：所述第一光波导为硅，厚度在500nm以下。
5.根据权利要求1所述的硅基光波导模斑转换器，其特征在于：所述第二光波导为SU-8光刻胶，厚度在1-5um之间，远离所述第一光波导的一侧用于与光纤耦合，其宽度在9-16um之间。
6.根据权利要求1所述的硅基光波导模斑转换器，其特征在于：所述第三光波导为SU-8光刻胶，厚度在2-6um之间，远离所述第一光波导的一侧用于与光纤耦合，其宽度在9-16um之间。
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