[实用新型]防泄漏存储柜

说明书

本实用新型涉及一种防泄漏存储柜，所述防泄漏存储柜包括：至少一层柜体，所述柜体一侧具有开口，所述开口处设置有柜门；风幕机，安装于柜体内侧顶部，与柜门相邻的边缘处，所述风幕机的吹风口朝向柜体底部；控制器，与所述风幕机连接，用于控制所述风幕机的开启或关闭。所述存储柜在柜门开启时，能够通过风幕机形成气帘，减少柜内外的环境交换。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种防泄漏存储柜。

背景技术

在半导体工艺厂(FAB)实际生产中，会通过存储柜临时存放一些器具。为了避免器具在临时存储的过程中受到污染，通常会在柜子中填充氮气以保护器具。

填充有氮气的存储柜通常由人工操作，完成存取器具的过程，在此过程中操作人员会与存储柜中的氮气直接接触，存储柜中的氮气外泄易使操作人员窒息，从而引发危险。

并且，在打开存储柜柜门的同时，会形成内外环境的交换，外环境中的颗粒污染、水汽、SO₄^2-、NH⁺等进入柜内，对于柜内环境造成污染，长期使用会降低存储柜的效能。

如何避免上述问题，是目前亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种防泄漏存储柜，在打开存储柜时能够避免柜内气体泄漏。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种防泄漏存储柜，包括：至少一层柜体，所述柜体一侧具有开口，所述开口处设置有柜门；风幕机，安装于柜体内侧顶部，与柜门相邻的边缘处，所述风幕机的吹风口朝向柜体底部；控制器，与所述风幕机连接，用于控制所述风幕机的开启或关闭。

可选的，所述控制器包括：传感模块，用于感应柜门的打开或关闭状态；控制模块，与所述传感模块连接，用于根据柜门的代开或关闭状态，发送对应的控制指令至所述风幕机。

可选的，所述传感模块包括压力传感器、光传感器或温度传感器中的至少一种。

可选的，所述柜门包括把手，所述传感模块安装于柜门的把手上。

可选的，所述传感模块安装于所述柜体内或柜体外部。

可选的，所述风幕机开启后能够在柜门与柜体内部之间形成一气帘，所述气帘的宽度等于所述柜体的开口宽度。

本实用新型的存储柜在柜体开口处安装有风幕机和控制器，在开启柜门时，控制风幕机打开，阻挡内外环境交换。完成存取操作之后，操作人员关闭存储柜柜门，控制风幕机关闭。通过风幕机形成气帘可以防止在存取器具的过程中，存储柜内的高纯氮气等外泄，引发操作人员窒息的现象发生；并且还可以防止外环境中的污染进入柜内，对于柜内的环境形成污染，降低存储柜的效能。

附图说明

图1为本实用新型一具体实施方式的防泄漏存储柜的结构示意图；

图2为本实用新型一具体实施方式的防泄漏存储柜的柜门打开之后的结构示意图；

图3为本实用新型一具体实施方式的防泄漏存储柜的风幕机形成气帘阻挡柜内外环境进行交换的原理示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型提供的防泄漏存储柜的具体实施方式做详细说明。

请参考图1，为本实用新型一具体实施方式的防泄漏存储柜的具体结构示意图。

该具体实施方式中，所述防泄漏存储柜包括顶层柜体101a和底层柜体101b共两层柜体。所述顶层柜体101a和底层柜体101b具有相同的结构，在此，以柜体101a作为示例进行具体说明。