[实用新型]一种激光溅射离子源

权利要求书

1.一种激光溅射离子源，包括靶体、离子通道、脉冲阀、激光器，所述离子通道与脉冲阀固定在安装座上，所述的离子通道连接脉冲阀，所述的离子通道上设有通光孔，所述的激光器出射的激光通过通光孔打在靶体的轰击面，其特征在于，所述靶体外周套设有靶体套筒，靶体套筒通过靶体安装座与驱动机构连接，所述驱动机构包括带动靶体横向往复移动的第一驱动机构和带动靶体纵向往复移动的第二驱动机构；

所述靶体套筒内还设有弹力单元，所述弹力单元的一端与远离靶体轰击面的一端抵接，另一端与靶体安装座抵接，实现靶体的轰击面紧贴离子通道。

2.根据权利要求1所述的激光溅射离子源，其特征在于，所述靶体套筒设有轴向且向内的至少一个凸缘，所述靶体上开设有与上述凸缘相配合的轴向的凹槽，所述靶体沿靶体套筒长度方向套设在靶体套筒内。

3.根据权利要求2所述的激光溅射离子源，其特征在于，所述靶体在远离靶体轰击面的一端设有可拆卸的装配体，所述装配体与所述弹力单元的一端抵接。

4.根据权利要求3所述的激光溅射离子源，其特征在于，所述装配体为中空腔体结构，所述靶体在远离靶体轰击面的一端设有一杆，所述杆插在所述中空腔体结构中并通过紧定件固定。

5.根据权利要求3所述的激光溅射离子源，其特征在于，所述装配体上设有凹槽，所述凹槽与靶体套筒的凸缘相配合，所述装配体沿靶体套筒凸缘长度方向安装在靶体套筒中。

6.根据权利要求1至5任一所述的激光溅射离子源，其特征在于，所述第一驱动机构包括X轴步进电机、X轴丝杠导轨、X轴推进挡块和X轴滑台，所述X轴步进电机的主轴通过联轴器连接X轴丝杠导轨中的丝杠，所述的X轴推进挡块设置在X轴丝杠导轨中的丝杠上，沿着丝杠轴向移动，所述的X轴滑台固定在X轴推进挡块上；

所述的第二驱动机构包括Y轴步进电机、Y轴丝杠导轨、Y轴推进挡块和Y轴滑台，所述的Y轴步进电机的主轴通过联轴器连接Y轴丝杠导轨中的丝杠，所述的Y轴推进挡块设置在Y轴丝杠导轨中的丝杠上，沿着丝杠轴向移动，所述的Y轴滑台固定在Y轴推进挡块上；

所述的X轴步进电机和Y轴步进电机设有电机控制程序；

所述的Y轴步进电机、Y轴丝杠导轨、Y轴推进挡块、Y轴滑台组成的第二驱动机构垂直安装在X轴滑台上，所述第二驱动机构通过X轴滑台在空间坐标系的X轴方向上移动；

所述的Y轴滑台连接靶体安装座，所述靶体安装座通过Y轴滑台在空间坐标系的X轴和Y轴方向上移动。

7.根据权利要求6所述的激光溅射离子源，其特征在于，所述的X轴滑台与Y轴滑台上设置有若干装配孔，所述的Y轴丝杠导轨通过X轴滑台上的装配孔连接X轴滑台，所述的Y轴滑台通过Y轴滑台上的装配孔连接靶体安装座。

8.根据权利要求1所述的一种激光溅射离子源的发生装置，其特征在于，所述的离子通道表面设置有凸台，所述的凸台组成靶体的移动区域，所述的靶体端面贴合离子通道。

9.根据权利要求8所述的激光溅射离子源，其特征在于，所述的移动区域以通光孔为中心。

10.根据权利要求1所述的激光溅射离子源，其特征在于，所述的通光孔与激光器之间设置有金属薄片，所述的金属薄片通过薄片压圈固定在离子通道上。