[实用新型]基于角锥棱镜的光学镜头多视场像质检测装置

说明书

本实用新型涉及一种基于角锥棱镜的光学镜头多视场像质检测装置。该装置包括角锥棱镜和干涉仪，所述角锥棱镜包括三个锥面和一个底面，其中，三个锥面相互垂直，底面是一个等腰三角形；角锥棱镜位于待测光学镜头的入瞳处且角锥棱镜的底面正对待测光学镜头，干涉仪出射汇聚光束焦点位于待测光学镜头焦平面上；以任意角度进入角锥棱镜的入射光束均从其底面入射，经过三个锥面依次反射后仍由底面出射，且出射光束始终平行于入射光束。采用本实用新型使检测过程不用调节标准平面反射镜角度，只需在待检光学镜头焦平面上调整干涉仪焦点位置即可。

技术领域

本实用新型属于光学测量技术，涉及一种基于角锥棱镜的光学镜头多视场像质检测装置。

背景技术

光学镜头在装配完成后，需要对镜头多个视场的成像质量进行检测，检验光学装配是否合格。一般采用平面镜自准干涉检验获得镜头单个视场像差系数，但是单个视场像差系数测试不能表征大视场光学镜头的装配状态，需要自准测量光学镜头多个视场的像差系数。不同视场自准测量时自准平面镜精确对应不同角度且干涉仪焦点对应镜头焦平面上不同位置。自准测量光学镜多个视场像差系数时需要调节干涉仪焦点在待测光学镜头焦面上不同位置，同时精密调节自准平面镜角度使得测试装置达到自准条件。干涉仪焦点在待测光学镜头焦面上不同位置一一对应只准平面镜的特定角度。

批量光学镜头多个不同视场平面镜自准像差系数测量时，需要同时不断精密调节干涉仪、标准平面反射镜空间位置关系，存在检测调节过程长、效率低下等问题。

实用新型内容

为了解决背景技术中的问题，本实用新型提出了一种基于角锥棱镜的光学镜头多视场像质检测装置，检测过程不用精密调节标准平面反射镜角度，只需在待检光学镜头焦平面上调整干涉仪焦点位置即可实现快速测量多个不同视场像差系数自准干涉测量。

本实用新型的技术解决方案是：

本实用新型提供了一种基于角锥棱镜的光学镜头多视场像质检测装置，其特殊之处在于：包括角锥棱镜和干涉仪，

所述角锥棱镜包括三个锥面和一个底面，其中，三个锥面相互垂直，底面是一个等腰三角形；

角锥棱镜位于待测光学镜头的入瞳处且角锥棱镜的底面正对待测光学镜头，干涉仪出射汇聚光束焦点位于待测光学镜头焦平面上；

以任意角度进入角锥棱镜的入射光束均从其底面入射，经过三个锥面依次反射后仍由底面出射，且出射光束始终平行于入射光束。

进一步地，为了方便测试待测光学镜头的不同视场角的像差系数，该装置包括多个干涉仪且多个干涉仪的出射汇聚光束焦点均位于待测光学镜头焦平面上。

进一步地，为了方便测试待测光学镜头的不同视场角的像差系数，还有另外一种方式是：该装置还包括一个安装在干涉仪下方的二维移动平台，二维移动平台带动干涉仪在待测光学镜头焦平面上移动。

进一步地，所述角锥棱镜是通过在一个立方体镜体上切下一角而形成。

进一步地，所述干涉仪为为商业化的干涉仪，如ZYGO公司的GPIXP系列干涉仪。

本实用新型与现有技术相比的有益效果是：

1、不需要精密调节自准光学元件角度。现有平面镜自准干涉测试时，待测光学镜头不同视场出射平行光束对应平面镜不同自准角度，该角度需要精密调节。本实用新型利用角锥棱镜保证了任何角度入射光束自准返回，不需在测试过程中频繁精密调节，且角锥棱镜对于安装角度要求精度低。

2、检测速度快，相比于平面镜自准检测需要同时调节自准反射镜角度及干涉仪焦点位置，本实用新型仅仅调节干涉仪焦点位置即可获得待检镜头不同视场的像差系数。

3、易于实现大批量光学镜头多视场像差系数快速测量，节约检测成本与时间。

附图说明