[实用新型]一种便于炉壁降温的石墨加热炉

权利要求书

1.一种便于炉壁降温的石墨加热炉，包括外炉体(1),其特征在于：所述外炉体(1)包括炉底(11)以及固定连接于炉底(11)上方的外侧壁(12)，所述外侧壁(12)内部还开设有第一空腔(121)，所述第一空腔(121)呈螺旋状，所述外侧壁(12)外侧还固设有第一进水管(122)以及第一出水管(123)，所述第一进水管(122)与第一空腔(121)下端联通，所述第一出水管(123)与第一空腔(121)上端联通。

2.根据权利要求1所述的一种便于炉壁降温的石墨加热炉，其特征在于：所述第一出水管(123)远离第一空腔(121)一端固定连接有第一抽水泵(1231)。

3.根据权利要求1所述的一种便于炉壁降温的石墨加热炉，其特征在于：所述外侧壁(12)上方还连接有外盖体（13），所述外盖体（13）内部还开设有旋涡状的第二空腔(132)，所述外盖体（13）上表面固设有第二进水管(133)以及第二出水管(134)，所述第二进水管(133)与第二空腔(132)的中心位置处联通，所述第二出水管(134)与第二空腔(132)的外端联通，所述第二出水管(134)远离第二空腔(132)一端还固定连接有第二抽水泵（1341）。

4.根据权利要求1所述的一种便于炉壁降温的石墨加热炉，其特征在于：所述外炉体(1)内还设有内炉体(3)，所述内炉体(3)包括固定连接于外侧壁(12)内侧的坩埚(31)，所述坩埚(31)与外侧壁(12)之间还设置有保温层(2)。

5.根据权利要求4所述的一种便于炉壁降温的石墨加热炉，其特征在于：所述坩埚(31)上方还连接有能够密封坩埚（31）的内盖体(32)。

6.根据权利要求4所述的一种便于炉壁降温的石墨加热炉，其特征在于：所述坩埚(31)内还固定连接有多个加热板（33），多个加热板（33）均匀的分布于坩埚(31)内。

7.根据权利要求4所述的一种便于炉壁降温的石墨加热炉，其特征在于：所述坩埚（31）下底面还固设有第一通气管(311)，所述第一通气管(311)下端延伸出炉底(11)并固定连接有真空泵(3111)。

8.根据权利要求7所述的一种便于炉壁降温的石墨加热炉，其特征在于：所述第一通气管(311)一侧还固设有侧管(3112)，侧管（3112）设置于炉底（11）与真空泵（3111）之间，所述侧管(3112)还固定连接有氮气储气罐(3113)，所述侧管(3112)与氮气储气罐(3113)之间还固定连接有第一控制阀(3114)。

9.根据权利要求4所述的一种便于炉壁降温的石墨加热炉，其特征在于：所述坩埚(31)底部还开设有多个通气孔(312)，所述多个通气孔(312)延伸出炉底(11)并设有第二通气管（313），所述第二通气管（313）一端固定连接于炉底(11)，且其另一端还固定连接有甲烷储气罐(3131)，所述甲烷储气罐(3131)与第二通气管（313）之间还固定连接有第二控制阀(3132)。

10.根据权利要求4所述的一种便于炉壁降温的石墨加热炉，其特征在于：所述坩埚(31)内还固设有温度检测仪(314)，所述温度检测仪(314)下端还延伸出炉底(11)并固定连接有温度显示器(3141)。