[实用新型]高/低温-电磁场复合条件加载的纳米压痕测试仪器

权利要求书

1.一种高/低温-电磁场复合条件加载的纳米压痕测试仪器，其特征在于：包括纵向精密纳米压痕驱动加载模块（1）、横向磁加载模块（2）、低温纵向磁场模块（3）、高温电场模块（4）和隔振台（5），所述纵向精密纳米压痕驱动加载模块（1）、横向磁加载模块（2）、低温纵向磁场模块（3）和高温电场模块（4）安装在隔振台（5）上；所述纵向精密纳米压痕驱动加载模块（1）通过辅助连接架（113）及紧定螺钉与横向磁加载模块（2）连接，以保证在纵向宏观运动上，横向磁加载模块（2）产生的磁感线中心与金刚石导电压头（115）的压尖在一条直线上，并通过立板（104）与隔振台（5）连接，从而固定在隔振台（5）上；所述低温纵向磁场模块（3）通过滑块承接板Ⅱ（306）与隔振台（5）上的横向滑轨连接，以保证低温纵向磁场模块（3）沿着横向滑轨横向移动；所述高温电场模块（4）通过滑块承接板Ⅲ（407）与横向滑轨固连，以保证高温电场模块（4）沿着横向滑轨横向移动。

2.根据权利要求1所述的高/低温-电磁场复合条件加载的纳米压痕测试仪器，其特征在于：所述的纵向精密纳米压痕驱动加载模块（1）是：伺服电机（101）通过电机承接座Ⅰ（102）固定在丝杠底板Ⅰ（103）上，通过联轴器Ⅰ（105）将转动运动同步传递给滚珠丝杠Ⅰ（109），滚珠丝杠Ⅰ（109）通过丝杠支撑座Ⅰ（106）连接于丝杠底板Ⅰ（103）上；纵向滑轨（108）固连在滑轨底座Ⅰ（107）上，滑轨底座Ⅰ（107）与丝杠底板Ⅰ（103）固连，滑块承接板Ⅰ（110）将滚珠丝杠Ⅰ（109）的转动转化成沿纵向的移动，通过螺钉与载物块（111）相连，载物块（111）平面与纵向精密驱动模块（112）固连，并在其侧面与辅助连接架（113）固连；力传感器（117）上端面与纵向精密驱动模块（112）固连，下端面与测量板位移传感器（118）面连接，与驱动压杆（114）轴端固连；驱动压杆（114）与金刚石导电压头（115）螺纹连接，驱动压杆与压头施电模块（116）固连；精密手动交叉滚珠移动平台（119）与载物块（111）固连。

3.根据权利要求1所述的高/低温-电磁场复合条件加载的纳米压痕测试仪器，其特征在于：所述的横向磁加载模块（2）包括横向磁发生装置（201）和霍尔探头底座霍尔探头底座（202）；所述横向磁发生装置（201）与霍尔探头底座（202）固连。

4.根据权利要求1所述的高/低温-电磁场复合条件加载的纳米压痕测试仪器，其特征在于：所述的低温纵向磁场模块（3）是：低温恒温器（301）与低温压台（302）固连，低温压台（302）通过螺栓连接到底板Ⅰ（305）上，底板Ⅰ（305）与滑块承接板Ⅱ（306）固连，滑块承接板Ⅱ（306）与隔振台上的横向滑轨固连，沿着横向滑轨做横向移动；产磁线圈（303）包裹着铁芯（304），通过铁芯（304）固定于底板Ⅰ（306）上，与外供电源连接产生纵方向的磁场。

5.根据权利要求1所述的高/低温-电磁场复合条件加载的纳米压痕测试仪器，其特征在于：所述的高温电场模块（4）是：支撑铜座（401）固定于承接底座Ⅱ（402）上，发热电阻（403）放置在承接底座Ⅱ（402）内腔中，发热电阻（403）上表面与支撑铜座（401）接触；绝热挡板（404）与承接底座Ⅱ（402）螺钉连接，且绝热挡板（404）设有与通电导线（405）配合的连接孔；承接底座Ⅱ（402）固定于底板Ⅱ（406），底板Ⅱ（406）与滑块承接板Ⅲ（407）固连，滑块承接板Ⅲ（407）与隔振台（5）上横向运动的滑轨连接，使高温电场模块横向运动。