[实用新型]砂轮划片机搭载的工作平台旋转机构

说明书

本实用新型涉及砂轮划片机搭载的工作平台旋转机构。该砂轮划片机搭载的工作平台旋转机构包括：旋转平台模块、同步带、驱动电机装配、工作盘，所述旋转平台模块上设有工作盘，所述旋转平台模块通过同步带连接到驱动电机装配，所述旋转平台模块与驱动电机装配下方设有承载用的安装板，所述工作盘与旋转平台模块之间设有陶瓷间隔盘。本实用新型提供的砂轮划片机搭载的工作平台旋转机构，在确保运转精度的前提下，减小设备外形尺寸，便于整机的尺寸减小和新功能组件的安装，并且，在成本上也有所降低。

技术领域

本发明涉及划片机技术领域，特别涉及一种砂轮划片机搭载的工作平台旋转机构。

背景技术

砂轮划片机是半导体分装过程的关键设备，其工作原理是强力磨削，而刀片是强力磨削的执行部件。砂轮划片机刀片是环形结构，安装于空气静压主轴的电机轴端上。工作时，在空气静压主轴电机的驱动下，以最高可达到60000r/min的转速来实现高速划切。

由于刀片特殊的工作性质，在划切生产过程中，经常出现刀片磨损的状况，此时如果继续划切，就会影响划切质量，甚至是设备损坏。所以为了保证划切工件的划切质量，必须对刀片进行定时高度检测，检测出磨损量并及时给予补偿，而当刀片磨损量超过一定值时，则报警提示更换刀片，从而保证设备稳定工作，确保划切继续进行。

目前砂轮划片机旋转机构采用的是涡轮涡杆驱动与DD马达直接驱动两种形式，但常用形式普遍存在加工复杂，装配繁琐，价格昂贵等缺陷。

发明内容

针对现有技术的上述缺陷，本实用新型提供的砂轮划片机搭载的工作平台旋转机构，解决了现有旋转工作平台在技术上和成本上存在的问题。

为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

砂轮划片机搭载的工作平台旋转机构包括：旋转平台模块、同步带、驱动电机装配、工作盘，所述旋转平台模块上设有工作盘，所述旋转平台模块通过同步带连接到驱动电机装配，所述旋转平台模块与驱动电机装配下方设有承载用的安装板，所述工作盘与旋转平台模块之间设有陶瓷间隔盘，所述旋转平台模块与驱动电机装配通过旋转驱动模块控制，所述旋转驱动模块包括：电机驱动模块、驱动转角确定模块、工作盘转角确定模块、提示模块、转角补偿值模块，所述驱动转角确定模块通过电机驱动模块与驱动电机装配相连，所述转角补偿值模块通过提示模块连接工作盘转角确定模块，所述工作盘转角确定模块连接旋转平台模块。

其中，旋转平台模块包括：旋转平台外转体、旋转平台轴承外径压盘、旋转平台轴承内径压盘、旋转平台轴承内径垫圈、旋转平台轴承外径垫圈、角接触球轴承、旋转平台空心轴、旋转平台带轮，所述旋转平台外转体外侧设有旋转平台带轮，内侧设有旋转平台空心轴，所述旋转平台空心轴上方设有旋转平台轴承外径压盘和旋转平台轴承内径压盘，所述角接触球轴承设置在旋转平台空心轴与旋转平台外转体之间，角接触球轴承内侧设有转平台轴承内径垫圈，外侧设有旋转平台轴承外径垫圈。

其中，驱动电机装配包括：驱动伺服电机、驱动电机带轮、电机安装架，所述电机安装架上设有驱动伺服电机，所述驱动伺服电机与驱动电机带轮相连。

其中，旋转平台模块支撑工作盘并为工作盘提供旋转服务。

其中，同步带将驱动伺服电机提供旋转传递到旋转平台模块。

其中，所述驱动电机装配为旋转机构提供旋转驱动。

旋转平台模块，用于支撑工作盘并为工作盘提供旋转服务；

同步带，用于将驱动电机提供旋转传递到旋转平台模块；

驱动电机装配，用于为旋转机构提供旋转驱动；

工作盘，用于支撑工作用真空吸盘，并且提供高精度平行度技术指标；

安装板，用于承载所有安装件；