[实用新型]应用节能型热场的单晶炉

说明书

应用节能型热场的单晶炉，包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件、坩埚位置标识装置，炉体包括外炉筒和设置在内部的热场，热场包括坩埚、安装座、加热器、热屏组件、保温层，所述热场还包括中排气组件，在下炉筒的侧壁上对称设置第一排气套和第二排气套，中排气组件包括第一排气管、第二排气管、排气环，第一排气管、第二排气管对称设置在加热器的两侧，第一排气管的上端与排气环连接，第二排气管的上端与排气环连接，排气环包括内侧环壁、外侧环壁、环底，本实用新型通过中排气组件的设置，将与热场气氛直接连接的进气口设置在热场中上部，如此，不仅解决了因排气带走热量的问题，也不存在挥发物堵塞排气管的问题。

技术领域

本实用新型涉及硅单晶棒拉晶设备技术领域，尤其涉及一种应用节能型热场的单晶炉。

背景技术

应用节能型热场的单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。

拉晶过程中，需要对炉体内的气体排出，现有技术中，排气口通常设置在下炉筒侧壁上，导致排气口靠近热场的底部，因热场底部石墨件和石墨碳毡挥发物和氧化物多，容易造成排气套管堵塞，从而造成拉晶环境污染，不能很好的拉制出晶棒，严重的会影响到拉晶过程中断，造成硅料损坏，拉晶成本上升。再者，因其在下部容易带走更多的热量，造成热量损失，而引起加热功率高。

发明内容

有必要提出一种从热场中上部排气的应用节能型热场的单晶炉。

一种应用节能型热场的单晶炉，包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件、坩埚位置标识装置，炉体包括外炉筒和设置在内部的热场，外炉筒包括从上向下依次安装连接的炉盖、中炉筒和下炉筒，下炉筒安装在二层平台上，热场包括坩埚、安装座、加热器、热屏组件、保温层，安装座设置下炉筒内，以安装坩埚，坩埚设置在中炉筒内，加热器包围设置在坩埚的周围，以对坩埚内的物料进行加热化料，热屏组件设置在坩埚的上方，在热屏组件中间设置晶棒通道，保温层包括从上向下依次设置的上保温层、中保温层、下保温层，上保温层设置在热屏组件与中炉筒之间，中保温层设置在加热器与中炉筒之间，下保温层设置在安装座与下炉筒之间，驱动部件的上端穿过下炉筒的底部，以与安装座连接，进而驱动坩埚旋转和升降，所述热场还包括中排气组件，在下炉筒的侧壁上对称设置第一排气套和第二排气套，第一排气套的一端及第二排气套的一端外漏在下炉筒外部，用于与外部抽气机构连接，第一排气套的另一端及的另一端穿过下炉筒及保温层，以与中排气组件连通，中排气组件包括第一排气管、第二排气管、排气环，第一排气管、第二排气管对称设置在加热器的两侧，第一排气管、第二排气管靠近保温层设置，第一排气管、第二排气管均为竖直设置的空心直管，第一排气管的下端与第一排气套连通，第一排气管的上端与排气环连接，第二排气管的下端与第二排气套连通，第二排气管的上端与排气环连接，排气环为一圆环，排气环设置在坩埚及加热器的上方的热场内，排气环包括内侧环壁、外侧环壁、环底，内侧环壁、外侧环壁为同心圆，环底连接在内侧环壁、外侧环壁之间，以形成U型环槽，还在内侧环壁、外侧环壁上分别开设进气口和出气口，出气口与第一排气管、第二排气管的上端连通，进气口与内侧环壁内侧的热场连通，以从坩埚口部上方的热场内排出气体，所述坩埚位置标识装置设置在二层平台的下方，坩埚位置标识装置包括下限位机构和上限位机构，设置在二层平台下方的驱动部件包括升降电机、减速器、丝杠、导套，升降电机通过减速器与丝杠连接，以驱动丝杠转动，丝杠与导套螺纹传动连接，导套的上端与安装座连接，以驱动坩埚升降，下限位机构固定设置在驱动部件下方的二层平台的机架上，以对导套的下降的最低位置进行限位，上限位机构设置在驱动部件上方的二层平台的机架上，以对导套的下降的最高位置进行限位。

优选的，所述内侧环壁上的进气口为对称设置的至少四个，所述外侧环壁上的出气口为对称设置的两个，以对热场内的气体均匀抽吸，所述出气口和进气口错位设置。