[实用新型]一种抛光磨轮保养防护装置

说明书

本实用新型公开了磨具保护领域内的一种抛光磨轮保养防护装置，包括与旋转驱动机构相连接的抛光磨轮，抛光磨轮的转轴竖直设置，所述抛光磨轮上匹配固定有保护罩，保护罩包括水平的遮挡部，遮挡部的两端均设有与遮挡部连为一体的挂钩部，所述遮挡部与抛光磨轮的下端面相贴合，挂钩部钩住抛光磨轮的上端面，挂钩部与抛光磨轮之间面接触。所述挂钩部为L形，遮挡部与挂钩部的宽度相等，抛光磨轮的轮径与遮挡部的长度相匹配设置。本实用新型的能够在对抛光区保养时，将抛光磨轮有效地保护起来，不需要将抛光磨轮拆卸下来，即可进行保养，提高机台的使用效率。

技术领域

本实用新型属于磨具保护领域，特别涉及一种用于保养防护抛光磨轮的装置。

背景技术

芯片，又称微电路、微芯片或集成电路，是指内含集成电路的硅片，体积很小，常常是计算机或其他电子设备的一部分。半导体生产流程由晶圆制造、晶圆测试、芯片封装和封装后的测试组成。塑封之后，还要进行一系列操作，如后固化、切筋和成型、电镀以及打印等工艺。典型的封装工艺流程为：划片、装片、键合、塑封、去飞边、电镀、打印、切筋和成型、外观检查、成品测试和包装出货。晶圆是用于生产芯片的必不可少的一部分。

现有技术中，需要对晶圆进行抛光磨平，清除边角、焊点、毛刺和毛边，修理晶圆表面的凹凸不平。目前，工作人员进行抛光区域保养时，需要将干抛的抛光磨轮换下，防止保养时将抛光磨轮沾湿、污染，其不足之处在于：拉长了保养时间，降低机台使用效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种抛光磨轮保养防护装置，能够在对抛光区保养时，将抛光磨轮有效地保护起来，不需要将抛光磨轮拆卸下来，即可进行保养，提高机台的使用效率。

本实用新型的目的是这样实现的：一种抛光磨轮保养防护装置，包括与旋转驱动机构相连接的抛光磨轮，抛光磨轮的转轴竖直设置，所述抛光磨轮上匹配固定有保护罩，保护罩包括水平的遮挡部，遮挡部的两端均设有与遮挡部连为一体的挂钩部，所述遮挡部与抛光磨轮的下端面相贴合，挂钩部钩住抛光磨轮的上端面，挂钩部与抛光磨轮之间面接触。

本实用新型使用时，将保护罩的两个挂钩部对准抛光磨轮，横向移动保护罩，使得抛光磨轮进入挂钩部与遮挡部之间的区域，挂钩部钩住抛光磨轮的上端面，保护罩就可以将抛光磨轮保护起来。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：能够在对抛光区保养时，将抛光磨轮有效地保护起来，不需要将抛光磨轮拆卸下来，即可进行保养，节省保养时间，操作十分简单和方便，提高机台的使用效率。

作为本实用新型的进一步改进，所述挂钩部为L形，遮挡部与挂钩部的宽度相等，抛光磨轮的轮径与遮挡部的长度相匹配设置。遮挡部可以将抛光磨轮充分保护起来，L形挂钩部钩住抛光磨轮，固定方便。

作为本实用新型的进一步改进，所述遮挡部由固定板和活动板组成，固定板上开设有滑槽，活动板上对应设有插入滑槽的导向杆，导向杆与滑槽之间滑动连接。滑动活动板可以改变保护罩的长度，以适应不同轮径的抛光磨轮。

作为本实用新型的进一步改进，所述固定板上设有锁孔一，活动板上对应锁孔一均匀间隔设置有若干锁孔二，固定板和活动板之间通过锁杆相固定，锁杆的两端均设有锁扣，两锁扣分别卡入锁孔一和相应锁孔二内。锁杆可以将固定板和活动板固定起来，避免两者之间产生相对滑动，锁杆的锁扣插入不同的锁孔二，可以适应不同轮径的抛光磨轮。

作为本实用新型的进一步改进，所述抛光磨轮下方对应设有工作台，工作台上左右对称设置有两个夹具，两夹具相向的一侧均设置为弧形，晶圆固定在两个夹具之间，夹具底部设有3个滑块，中间的滑块截面为T形，两侧的滑块截面为矩形，工作台上设有与各滑块相对应的滑槽。夹具可以沿着滑槽滑动，以适应不同直径的晶圆。

作为本实用新型的优选，所述旋转驱动机构包括电机，电机与减速器传动连接，减速器的输出轴与抛光磨轮相固定。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。