[实用新型]阀件分流箱

说明书

本实用新型公开了一种阀件分流箱，包括：开关模块包括N个电磁阀，N为大于或等于1的整数；气路组件模块包括N个气路组件，每个气路组件的出口对应连接一个电磁阀；监控模块包括M个检测器件，M为大于或等于1的整数，用于检测气体通路内的环境参数；监控模块还包括控制单元，控制单元分别检测器件和开关模块电连接，用于根据气体通路内的环境参数切断开关模块的电源信号。本实用新型实施例提供了一种阀件分流箱，通过在每个气路组件的出口对应连接一个电磁阀，然后监控模块的控制单元根据检测器件检测的气体通路内的环境参数，来实现对电磁阀的导通或者关断，来控制气路组件组成的气体通路处于导通的状态或者截止的状态。

技术领域

本实用新型实施例涉及电力转换技术领域，尤其涉及一种阀件分流箱。

背景技术

在现代工业及高新科技的发展中，对于安全的要求是越来越严格，在尽可能的减少安全事故的发生，以取得高效、稳定、不断提高的产业利润。由于在制程上的需要，在半导体工厂及芯片生产过程中使用了许多特殊的气体如：SiH₄、NH₃以及N₂等，因此，就需要相应的供气设备。阀件分流箱(Valve Manifold Box，VMB)主要用于将气体经过气路组件模块中的气路组件送到相应的设备中。

但是目前的阀件分流箱，自动化程度不高，人力成本较高。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供了一种阀件分流箱，实现了在阀件分流箱的监控模块监测到现场一些危险情况时，对开关模块及时断电，阻止气体在气体通路中的传输，并且该阀件分流箱具有结构简单、成本低廉以及可靠性高的特点。

本实用新型实施例提供了一种阀件分流箱，包括：开关模块，所述开关模块包括N个电磁阀，所述N为大于或等于1的整数；

气路组件模块，所述气路组件模块包括N个气路组件，每个所述气路组件的出口对应连接一个电磁阀，所述电磁阀用于导通或者截止所述气路组件组成的气体通路；

电源模块，所述电源模块的第一电源信号输出端与所述开关模块的第一电源信号输入端电连接，所述电源模块的第二电源信号输出端与所述开关模块的第二电源信号输入端电连接，所述电磁阀的第一电源信号输入端与所述开关模块的第一电源信号输入端电连接，所述电磁阀的第二电源信号输入端与所述开关模块的第二电源信号输入端电连接；

监控模块，所述监控模块的第一电源信号输入端与所述电源模块的第一电源信号输出端电连接，所述监控模块的第二电源信号输入端与所述电源模块的第二电源信号输出端电连接；

所述监控模块包括M个检测器件，所述M为大于或等于1的整数，用于检测所述气体通路内的环境参数；

所述监控模块还包括控制单元，所述控制单元分别与所述检测器件和所述开关模块电连接，用于根据所述气体通路内的环境参数切断所述开关模块的电源信号。

可选的，所述控制单元包括M个第一热继电器；

所述第一热继电器与所述检测器件一一对应设置，所述第一热继电器包括第一线圈和至少一个常开触点；

所述检测器件的第一端与所述第一线圈的第一端电连接，所述检测器件的第二端与所述监控模块的第一电源信号输入端电连接，所述第一线圈的第二端与所述监控模块的第二电源信号输入端电连接，所述检测器件检测指示灯与所述第一线圈并联连接，所述第一热继电器的第一常开触点与所述检测器件并联连接；

所述控制单元还包括N个远程开关，每个所述远程开关对应设置一个第二热继电器，所述第二热继电器包括第二线圈、至少一个常开触点和至少一个常闭触点；所述远程开关的第一端与所述第二线圈的第一端电连接，所述远程开关的第二端与所述监控模块的第一电源信号输入端电连接，所述第二线圈的第二端与所述监控模块的第二电源信号输入端电连接；所述第二热继电器的第一常开触点与所述远程开关并联连接；