[实用新型]电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备

说明书

本实用新型公开了一种电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备，包括柜体，设置于所述柜体内的气瓶、分气装置，所述分气装置包括吹扫模块、供气模块、以及抽真空模块，其中，所述供气模块分别与所述气瓶、吹扫模块、抽真空模块、以及外部用气设备连接。本实用新型通过各种阀门有机地、巧妙地组合，外加上PLC控制及触摸屏这一人机交互媒介，使其自动化程度大大提高，同时也方便使用者操作。柜体是为了满足微电子半导体生产、科研要求而设计的气体输送系统。柜体中装载有单个或两个工艺钢瓶、工艺输出管线以及一条吹扫管路。此外，柜体装载并且输送高纯度有毒或易燃易爆气体，可以与更大型系统的使用点进行连接。

技术领域

本实用新型涉及废气处理技术领域，尤其涉及一种电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备。

背景技术

目前，市面上用于半导体工厂或实验室的毒腐可燃气体控制设备，存在自动不彻底、危机处理不安全、结构繁杂、维护困难、操作不方便的问题。这就给使用都带来了使用不方便、使用不安全、危机处理不恰当，造成了人力物力的浪费，同时给使用方带来极大地安全隐患。

实用新型内容

本实用新型提出一种电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备，旨在提高毒腐可燃气体利用的安全性。

为实现上述目的，本实用新型提供一种电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备，包括柜体，设置于所述柜体内的气瓶、分气装置，所述分气装置包括吹扫模块、供气模块、以及抽真空模块，其中，所述供气模块分别与所述气瓶、吹扫模块、抽真空模块、以及外部用气设备连接。

如上所述电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备还包括设置于所述柜体内部的控制器，所述控制器分别与所述吹扫模块、供气模块、以及抽真空模块连接。

如上所述电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备还包括设置于所述柜体内部的电磁阀，所述控制器通过所述电磁阀与所述吹扫模块、供气模块、以及抽真空模块连接。

如上所述供气模块包括：限流开关EFS、过滤器F2-L、低压手动隔膜阀 LPHL、压力传感器DPGL、低压气动隔膜阀LPVL、单向阀CV3、压力传感器 VPG、高压气动隔膜阀HPVL、高压气动隔膜阀HPVR、调压阀REGL、高压气动隔膜阀HPIL、高压气动隔膜阀HPIR、过滤器F1-R、高压气动隔膜阀PGIR、以及压力传感器SPGR；其中，

所述限流开关EFS与所述过滤器F2-L、低压手动隔膜阀LPHL连接，所述低压手动隔膜阀LPHL还与所述压力传感器DPGL、低压气动隔膜阀LPVL、调压阀REGL连接，所述低压气动隔膜阀LPVL还与所述单向阀CV3连接，所述单向阀CV3还与压力传感器VPG、高压气动隔膜阀HPVL、高压气动隔膜阀 HPVR连接，所述高压气动隔膜阀HPVR连接还与所述高压气动隔膜阀HPIR、所述过滤器F1-R连接，所述高压气动隔膜阀HPIR还与所述调压阀REGL、高压气动隔膜阀HPIL连接，所述过滤器F1-R还与所述高压气动隔膜阀PGIR、压力传感器SPGR连接，所述压力传感器DPGL、所述压力传感器VPG、所述压力传感器SPGR还与所述控制器连接。

如上所述吹扫模块包括：所述低压气动隔膜阀LPVL、所述单向阀CV3、所述压力传感器VPG、所述高压气动隔膜阀HPVL、所述高压气动隔膜阀 HPVR、所述高压气动隔膜阀HPIR、所述过滤器F1-R、所述压力传感器SPGR、所述高压气动隔膜阀PGIR、以及高压气动隔膜阀HPCV、低压气动隔膜阀 LPBV、高压气动隔膜阀HPDV、真空发生器VG、单向阀CV1、单向阀CV2、高压气动隔膜阀PGIL；其中，