[实用新型]一种高密度等离子体机台射频带连接结构有效
| 申请号： | 201820119366.4 | 申请日： | 2018-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN207765399U | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 黄彪;刘涛;张波 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201200 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 射频带 绝缘层 高密度等离子体 机台 电弧 本实用新型 圆弧形连接 金属部件 连接结构 电源供应端 圆弧形顶端 绝缘处理 两端设置 人员伤害 漏电 非圆弧 抗电弧 连接端 连接孔 耐高温 射频源 形连接 触发 加装 裸露 防火 火灾 | ||
1.一种高密度等离子体机台射频带连接结构，其特征在于：包括至少一个的
射频带，所述射频带两端设置圆弧形连接端，在所述圆弧形连接端上设置有连接孔，在所述射频带非圆弧形连接端的部分设置绝缘层；
电源供应端，连接所述射频带一端；
顶部射频源连接端，连接所述射频带。
2.根据权利要求1所述的高密度等离子体机台射频带连接结构，其特征在于：所述射频带为条状射频带。
3.根据权利要求2所述的高密度等离子体机台射频带连接结构，其特征在于：所述绝缘层为橡胶材质。
4.根据权利要求3所述的高密度等离子体机台射频带连接结构，其特征在于：所述绝缘层为绝缘橡胶材质。
5.根据权利要求4所述的高密度等离子体机台射频带连接结构，其特征在于：所述电源供应端设置电源供应端螺纹杆。
6.根据权利要求5所述的高密度等离子体机台射频带连接结构，其特征在于：所述电源供应端螺纹杆穿过所述连接孔再螺帽旋紧，将所述电源供应端和射频带连接。
7.根据权利要求6所述的高密度等离子体机台射频带连接结构，其特征在于：所述顶部射频源连接端设置顶部射频源连接端螺纹杆。
8.根据权利要求7所述的高密度等离子体机台射频带连接结构，其特征在于：所述顶部射频源连接端螺纹杆穿过所述连接孔再螺帽旋紧，将所述顶部射频源连接端和射频带连接。
9.根据权利要求8所述的高密度等离子体机台射频带连接结构，其特征在于：所述射频带、电源供应端和顶部射频源连接端设置为三个。
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