[实用新型]一种传感器装置

说明书

本实用新型涉及由压力传感器芯片构成，具有较强过载能力的传感器装置，特别是适于质量、重量、压力、触力、脉搏、血压、物体抵触或非接触微位移、磁致伸缩、磁力检测，精密控制等领域的微机械传感器装置,其中包括：力传递部件包括适于直接对压力传感器芯片进行抵触的可压缩变形的弹性部分；力传递部件包括凸形部分，限制部件的限制部分设定在弹性膜片部分与凸形部分的大小端联接/连接部位之间，限制部件适于限制凸形部分的移动行程；力传递部件中间串联有可压缩的弹性部件；压力传感器芯片或压力传感器装置布置在一个可压缩的弹性部件上；力传递部件或壳体上设有永磁体；传感器阵列；串联布置的传感器装置等。

所属技术领域

本发明涉及一种传感器装置，特别是适于质量、重量、压力、触力、脉搏、血压、物体抵触或非接触微位移、磁致伸缩、磁力等检测领域，以及精密控制、按键、开关等控制领域的微机械传感器装置，属传感器技术领域，但是，不仅限于此。

背景技术

中国发明专利申请号2013105323955，名称：“柔性平台组件结构上的机械联接的力传感器”的资料中，公开了一种通过球形力传递部件抵触压力传感器芯片进行触力检测方案。其不足之处在于：用于检测的触头面积较小，不利于应用在手腕上进行脉搏、血压的检测；力传感器在使用过程中容易损坏。原因是：压力传感器芯片中的弹性膜片部分的厚度极薄。然而，压力传感器芯片中的弹性膜片部分的厚度越薄、传感器的分辨率、灵敏度或精度就越高。为提高实际设备中的检测精度和分辨率，通常需要选择弹性膜片部分的厚度薄的压力传感器芯片；压力传感器芯片的使用压力通常不能超过额定压力的2至3倍，否则膜片将被破坏；然而，在实际应用过程中，往往传感器受到的触力会超出预期；如果将该力传感器用在手腕上进行脉搏、血压检测时，可能会因为用户使用不当，造成传感器损坏的情况发生，因为，多数用户无相关知识，并且会用超过破坏压力的力来按压力传感器，由此造成力传感器中的弹性膜片部分破坏。另外，该传感器的量程较小。

中国发明专利申请号2013105905250,名称：“带有机械的过度力转移机构的力传感器”的资料中，公开了一种通过致动器或触头、力传递介质或凝胶致使压力传感器芯片上的弹性膜片部分变形，并将变形量或外部输入力转换成电信号的力传感器。其关键是在致动器及其周围设置止动件以防止致动器过度移动或推动力传递介质或凝胶，以防止压力传感器芯片中的弹性膜片部分过度变形后破损的技术方案来解决所述弹性膜片部分容易损坏的问题；其不足之处在于，由于力传递过程中使用了凝胶等力传递介质，由此，存在制造难度大的缺陷；另外，凝胶等力传递介质存在老化现象，硬度、弹性会随时间的延长而改变，凝胶等力传递介质对所述弹性膜片部分的作用或抵触力的分布状况会发生变化，因此，该力传感器还存在随着使用时间延长，力传感器的线性度和分辨率会随之波动或下降的缺陷。

另外，现有一种使用压力传感器芯片的充油式触力传感器，其结构是将压力传感器芯片布置在充油的容器中，通过容器上的波纹膜片和油将检测力传递到压力传感器芯片上进行触力的检测，其缺陷是检测分辨率、灵敏度或精度较低，体积较大。

发明内容

本发明的目的在于：改进上述产品的缺陷。

本发明的目的通过下述技术方案实现：

1、一种传感器装置，包括：压力传感器芯片，该压力传感器芯片包括弹性膜片部分、支撑弹性膜片部分的基体或框体部分，所述弹性膜片部分适于受到外部输入力或抵触运动时变形，并将变形量或外部输入力转换成电信号；力传递部件，该力传递部件适于向所述弹性膜片部分所在的方向移动，适于直接或间接地抵触所述弹性膜片部分；附件，该附件至少适于布置压力传感器芯片、力传递部件；其中，所述力传递部件包括：由适于硬度或弹性的材料构成，具有预定厚度或高度的可压缩变形的弹性部分，所述可压缩变形的弹性部分适于直接对所述的弹性膜片部分进行抵触。