[实用新型]升降装置

说明书

本实用新型公开一种升降装置，包括支架、升降机构和气电供给机构，升降机构可升降地设于支架，且升降机构上设有由气缸驱动的工作单元。其中，升降装置还包括气电接收接口、两个气电供给接口以及导线和导管。气电接收接口设于升降机构且连接于气缸和工作单元。两个气电供给接口设于支架且分别位于支架上的两个高度位置，两个气电供给接口分别设有阀件，阀件由控制器控制，气电供给接口与气电接收接口匹配。导线和导管分别连接于气电供给机构与两个气电供给接口之间。其中，升降机构升降至其中一高度位置时，气电接收接口对接于该高度位置处的气电供给接口，以供气电供给机构向气缸供气并向工作单元供电。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产制造设备技术领域，尤其涉及一种升降装置。

背景技术

升降机(Elevator)是液晶面板生产中广泛使用的设备，其主要用于将基板在不同高度的双层设备之间进行点对点运输。如图1所示，其代表性地示出了一种现有升降机结构示意图。如图1所示，升降机的升降机构120可升降地设于支架110，且升降机构120上设有用于固定所需传送的基板或传感器(Sensor)等部件的气缸。在升降机的工作过程中，需要利用气电供给设备为升降机构120提供电源供给和气源供给，因此升降机构120与气电供给设备之间需要设置供气电传输的连接结构。

现有升降机的设计中，上述气电的传输的主要通过将较长的导线以及较长的气管安装在一个电缆拖链130的腔体内，使其随着升降机构120升降而弯折运动。如此一来，电缆拖链130与支架110之间会产生多个位置的频繁接触，从而摩擦产生大量微粒。同时，电缆拖链130的反复弯折运动会使导线和气管与电缆拖链130之间产生摩擦，长此以往会导致漏气或漏电故障。再者，电缆拖链130寿命较短，造价较高，且需频繁更换，且更换操作繁琐，需要将电缆拖链130内的所有导线和气管全部拆除才可进行拆卸更换。

实用新型内容

本实用新型的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种避免供气电传输的连接结构与其他结构产生频繁接触摩擦的枢接装置。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

根据本实用新型的一个方面，提供一种升降装置，包括支架、升降机构和气电供给机构，所述升降机构可升降地设于所述支架，且所述升降机构上设有由气缸驱动的工作单元。其中，所述升降装置还包括气电接收接口、两个气电供给接口以及导线和导管。所述气电接收接口设于所述升降机构且连接于所述气缸和所述工作单元。两个所述气电供给接口设于所述支架且分别位于支架上的两个高度位置，两个所述气电供给接口分别设有阀件，所述阀件由控制器控制，所述气电供给接口与所述气电接收接口匹配。所述导线和所述导管分别连接于所述气电供给机构与两个所述气电供给接口之间。其中，所述升降机构升降至其中一所述高度位置时，所述气电接收接口对接于该高度位置处的所述气电供给接口，以供所述气电供给机构向所述气缸供气并向所述工作单元供电。

根据本实用新型的其中一个实施方式，所述气电接收接口包括第一气路接口以及第一电路接口。所述第一气路接口连通于所述气缸。所述第一电路接口电连接于所述工作单元。

根据本实用新型的其中一个实施方式，每个所述气电供给接口包括第二气路接口以及第二电路接口。所述第二气路接口通过所述导管连通于所述气电供给机构，且所述第二气路接口与所述第一气路接口匹配。所述第二电路接口通过所述导线电连接于所述气电供给机构，且所述第二电路接口与所述第一电路接口匹配。

根据本实用新型的其中一个实施方式，所述第一气路接口包括两个第一气路接头，两个所述第一气路接头彼此相反设置。所述第二气路接口包括两个第二气路接头，两个所述第二气路接头彼此相反设置。

根据本实用新型的其中一个实施方式，所述第一气路接头和所述第二气路接头为快速插拔接头。

根据本实用新型的其中一个实施方式，所述第一气路接口通过管路连通于所述气缸。其中，所述管路上设有止回阀。