[实用新型]一种扩散炉专用自动进出料装置

说明书

本实用新型提供一种扩散炉专用自动进出料装置，包括支撑板、滑块、丝杆、同步轮一、伺服电机、同步轮二、同步带、T型支撑块、悬挂杆、弹性气囊、充气泵以及固定板，所述支撑板内端安装有丝杆，所述丝杆上装配有滑块，所述丝杆右端装配有同步轮一，所述同步轮一通过同步带与同步轮二相连接，所述同步轮二右端装配有伺服电机，该设计实现了自动进出料控制，所述固定板前端装配有悬挂杆，所述悬挂杆后端镶嵌有充气泵，所述悬挂杆内部底端安装有弹性气囊，所述弹性气囊上端装配有T型支撑块，该设计提高了悬挂效果，本实用新型使用方便，便于操作，提高了自动进出料的效果，提高了悬挂稳定性。

技术领域

本实用新型是一种扩散炉专用自动进出料装置，属于扩散炉技术领域。

背景技术

现有技术中，现有的扩散炉专用自动进出料装置主要是由T型丝杠作为主传动，电机通过联轴器直接连接，由两端的光电开关作为定点限位来控制其总行程，系统由简易的集成控制箱控制，控制精度低，现有的扩散炉专用自动进出料装置在对硅片进行悬挂携带时，由于没有支撑装置，导致硅片在悬挂杆上容易滑动，进而造成脱落，从而降低了其加工效果。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种扩散炉专用自动进出料装置，以解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型使用方便，便于操作，提高了自动进出料的效果，提高了悬挂稳定性。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种扩散炉专用自动进出料装置，包括支撑板、微动开关、悬挂机构、滑块、丝杆、同步轮一、伺服电机、同步轮二以及同步带，所述支撑板内端安装有丝杆，所述丝杆上装配有滑块，所述滑块前端面固定有悬挂机构，所述丝杆右端装配有同步轮一，所述同步轮一左侧设置有支撑板，所述丝杆穿过支撑板与同步轮一相连接，所述同步轮一上侧安装有同步轮二，所述同步轮一通过同步带与同步轮二相连接，所述同步轮二右端装配有伺服电机，所述微动开关设置在支撑板右端，所述微动开关右侧安装有滑块，所述微动开关装配在丝杆前侧，所述悬挂机构包括T型支撑块、悬挂杆、弹性气囊、充气泵以及固定板，所述滑块前端固定有固定板，所述固定板前端装配有悬挂杆，所述悬挂杆后端镶嵌有充气泵，所述充气泵设置在固定板前端，所述悬挂杆内部底端安装有弹性气囊，所述弹性气囊上端装配有T型支撑块，所述T型支撑块安装在悬挂杆上，所述T型支撑块后侧设置有固定板。

进一步地，所述支撑板设有两个，所述支撑板对称装配在丝杆左右两端，所述T型支撑块设有至少两个，至少两个所述T型支撑块等距装配在弹性气囊上端。

进一步地，所述丝杆通过滚珠螺母副与滑块相连接，所述丝杆通过轴承与支撑板相连接，所述丝杆通过紧固螺栓与同步轮一相连接，所述同步轮二通过紧固螺栓与伺服电机相连接。

进一步地，所述充气泵、微动开关以及伺服电机均通过电线与外接蓄电池相连接，所述伺服电机通过电线与微动开关相连接。

进一步地，所述悬挂杆上端加工有开口槽，且开口槽上设置有T型支撑块，所述悬挂杆后端通过法兰盘与固定板相连接，所述悬挂杆后端加工有凹槽，且凹槽上固定有充气泵。

进一步地，所述充气泵通过气管与弹性气囊相连接，所述固定板后端加工有通孔，且通孔设置在充气泵后端，所述T型支撑块上端加工有卡槽。

本实用新型的有益效果：本实用新型的一种扩散炉专用自动进出料装置，本实用新型通过添加支撑板、微动开关、滑块、丝杆、同步轮一、伺服电机、同步轮二以及同步带，该设计通过伺服电机驱动同步轮，由同步带传动给丝杆来驱动滑块左右移动，伺服电机可以对速度的快慢以及行程进行控制，滑块继续运动触碰微动开关，设备就会紧急断电，从而保护伺服电机不会受损，避免损失，解决了现有的扩散炉专用自动进出料装置主要是由T型丝杠作为主传动，电机通过联轴器直接连接，由两端的光电开关作为定点限位来控制其总行程，系统由简易的集成控制箱控制，控制精度低的问题。