[实用新型]光路传输换向装置及光学性能参数检测系统

说明书

本实用新型提供了一种光路传输换向装置，包括输入光筒、换向筒、光学支架、第一输出光筒、第二输出光筒、顶板以及底板，所述换向筒为部分中空的筒体，所述换向筒固定安装在所述底板上，所述光学支架安装在所述换向筒的内部，所述光学支架上固定安装有反射镜，所述换向筒的周围设有分别与所述输入光筒、所述第一输出光筒以及所述第二输出光筒相连接的多个侧板，所述顶板安装在所述换向筒的顶部，所述顶板上设有能够使所述换向筒转动的转盘，所述顶板上还设有限位机构，并且所述限位机构能够将所述光学支架限位于第一状态或不同于所述第一状态的第二状态。本实用新型还提供了一种包括上述光路传输换向装置的光学性能参数检测系统。

技术领域

本实用新型涉及激光技术领域，特别是涉及一种光路传输换向装置及光学性能参数检测系统。

背景技术

光刻机主要由投影物镜、照明系统、掩模台、工件台、光源等主要部件组成，投影式光刻机光源波长涵盖很广，包括紫外g线、i线、远紫外线、深紫外线、极紫外线等，目前市场上应用最广泛的是193nm(ArF)投影光学光刻机。其中的光源模块通常是与整机独立分开的，可以单独自成系统，从光源到光刻机主机通常是经由一定路径的传输光路连通。为避免激光在传输过程中与空气发生反应，通常会将整个传输路径做封闭处理，并且通入氮气，在封闭路径内保持微正压，使得空气不能进入光路部分，起到隔离激光与空气的作用。光路传输装置主要由折光点和管道组成，折光点通常内部为一个45°的反光镜，可将光传导方向转折90°，管道主要是封闭激光传播路径。折光元件与管道连接处均设有密封元件，防止氮气泄漏，同时保持密闭光路内微正压。

同样，在常规的光学性能参数的检测以及光源性能参数检测等领域，激光器光源也都是不可缺少的组件，目前，激光器已形成独立的产品，在很多情况下都不会与整机集成在一起，而是分立安装，这样不可避免地会用到光路传输装置。通常情况下激光器到光刻机或是光学检测设备的传输光路都会做成固定的专用光路，即一台激光器供一台光刻或检测设备使用，但当一台激光器需要供两台设备交替使用时，由于这些设备体积质量非常大，不便搬运，此时就需要一种光路换向装置，可以根据使用需求切换激光到不同的设备上。这种应用场合一般在半导体工厂生产线上不会出现，但在设备研发和光学检测中会出现，在此种应用场合，建立一台激光器对一台光刻或实验设备的专用光路，就会多使用一台激光器，由此也会多使用一些空间以及气源、能源等资源，增加成本。

实用新型内容

本实用新型的目的是至少解决上述缺陷与不足之一，该目的是通过以下技术方案实现的。

本实用新型提供了一种光路传输换向装置，包括输入光筒、换向筒、光学支架、第一输出光筒、第二输出光筒、顶板以及底板，所述换向筒为部分中空的筒体，所述换向筒固定安装在所述底板上，所述光学支架安装在所述换向筒的内部，所述光学支架上固定安装有反射镜，所述换向筒的周围设有分别与所述输入光筒、所述第一输出光筒以及所述第二输出光筒相连接的多个侧板，所述顶板安装在所述换向筒的顶部，所述顶板上设有能够使所述换向筒转动的转盘，所述顶板上还设有限位机构，并且，所述限位机构能够将所述光学支架限位于第一状态或不同于所述第一状态的第二状态，在所述光学支架的所述第一状态，光线经由所述第一输出光筒输出，在所述光学支架的所述第二状态，光线经由所述第二输出光筒输出。

进一步地，所述第一输出光筒的中心轴线和所述第二输出光筒的中心轴线重合，所述输入光筒的中心轴线与所述第一输出光筒的中心轴线和所述第二输出光筒的中心轴线垂直。

进一步地，所述多个侧板包括与所述输入光筒连接的输入侧板、与所述第一输出光筒连接的第一侧板以及与所述第二输出光筒连接的第二侧板，所述第一侧板与所述第二侧板对称地安装在所述输入侧板的两侧，所述多个侧板将所述换向筒包围封闭。

进一步地，所述光学支架与所述底板垂直，所述反射镜通过压环固定在所述光学支架上。

进一步地，所述光学支架与所述换向筒通过拉簧固定连接。