[实用新型]一种真空气氛热处理炉上的负压恒压闭环控制系统

说明书

本实用新型公开了一种真空气氛热处理炉上的负压恒压闭环控制系统，包括反应腔，负压恒压闭环控制系统，真空系统，工控系统，其特征在于：所述反应腔与真空系统连接；所述负压恒压闭环控制系统包括供气系统和进气管路；所述进气管路一端与供气系统连接；所述负压恒压闭环控制系统、真空系统连接有工控系统。本实用新型设计合理，通过增加负压恒压闭环控制，工艺气体可设定流量的通入，反应腔内压力可以进行恒压控制，在吸氢‑歧化‑脱氢‑再复合工艺过程中可设定保持不同压力值，反应腔内压力更加稳定，提高制品合格率，并且由于控制负压压力，工艺气体的损耗减小，从而降低生产成本，实用性强，适于推广。

技术领域

本实用新型属于真空气氛热处理炉领域，更具体地说，涉及一种生产各向异性钕铁硼磁粉的设备（HDDR）上的负压恒压闭环控制系统。

背景技术

气氛热处理设备的工艺过程本质在于稀土金属间化合物吸氢并歧化分解，再在随后的强制脱氢过程中歧化产物复合成晶粒细小的原化合物相，从而制备出具有优异磁性能和磁各向异性的磁粉。以往在此过程中通入定量的工艺气体氢气，因氢气受热膨胀，反应腔内压力增加，无法准确的控制反应腔内的气氛压力，导致制品合格率低，增加设备生产成本。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供了一种真空气氛热处理炉上的负压恒压闭环控制系统，设计合理，通过增加负压恒压闭环控制，工艺气体可设定流量的通入，反应腔内压力可以进行恒压控制，在吸氢-歧化-脱氢-再复合工艺过程中可设定保持不同压力值，反应腔内压力更加稳定，提高制品合格率，并且由于控制负压压力，工艺气体的损耗减小，从而降低生产成本，实用性强，适于推广。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种真空气氛热处理炉上的负压恒压闭环控制系统，与真空气氛热处理炉相对应，所述真空气氛热处理炉上包括反应腔，负压恒压闭环控制系统，真空系统，工控系统，其特征在于：所述反应腔与真空系统连接；所述负压恒压闭环控制系统包括供气系统和进气管路；所述进气管路一端与供气系统连接；所述负压恒压闭环控制系统、真空系统连接有工控系统。

作为一种优化的技术方案，所述供气系统包括供气管路、减压器、过滤器、开关阀、质量流量控制器、压力控制器。

作为一种优化的技术方案，所述进气管路分为两路，一路连接反应腔进气端，另一路连接真空系统进气端。

作为一种优化的技术方案，所述真空系统设置有扩散泵、罗茨泵、机械泵、真空阀门、慢抽阀、快抽阀。

作为一种优化的技术方案，所述反应腔上设置有压力传感器，通过信号线连接到工控系统，进行压力值的反馈。

由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，本实用新型设计合理，通过增加负压恒压闭环控制，工艺气体可设定流量的通入，反应腔内压力可以进行恒压控制，在吸氢-歧化-脱氢-再复合工艺过程中可设定保持不同压力值，反应腔内压力更加稳定，提高制品合格率，并且由于控制负压压力，工艺气体的损耗减小，从而降低生产成本，实用性强，适于推广。

参照附图和实施例对本实用新型做进一步说明。

附图说明

图1为本实用新型一种实施例中的结构示意图。

具体实施方式

实施例

如图1所示，一种真空气氛热处理炉上的负压恒压闭环控制系统，与真空气氛热处理炉相对应，包括反应腔，负压恒压闭环控制系统，真空系统，工控系统，其特征在于：所述反应腔15与真空系统连接；所述负压恒压闭环控制系统包括供气系统和进气管路1；所述进气管路1一端与供气系统连接；所述负压恒压闭环控制系统、真空系统连接有工控系统14。