[实用新型]一种真空热处理炉上的内置热电偶监控装置有效
| 申请号： | 201820095735.0 | 申请日： | 2018-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN207831955U | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 刘洋 | 申请（专利权）人： | 青岛精诚华旗微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | F27D19/00 | 分类号： | F27D19/00;F27D21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 内置 测温热电偶 监控装置 热电偶 真空热处理炉 热电偶密封装置 本实用新型 铠装热电偶 热处理 工艺反应 料腔 热电偶补偿导线 温度控制系统 工艺环境 加热装置 控温系统 密封安装 温度环境 直接检测 腔外部 腔内 合格率 穿过 反馈 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空热处理炉上的内置热电偶监控装置，与真空热处理炉相对应，其特征在于：所述内置热电偶监控装置包括若干内置测温热电偶，所述内置测温热电偶为铠装热电偶，所述内置测温热电偶通过热电偶密封装置穿过料腔门，所述热电偶密封装置密封安装在料腔门上；所述内置测温热电偶通过热电偶补偿导线连接至控温系统。
2.根据权利要求1所述的一种真空热处理炉上的内置热电偶监控装置，其特征在于：所述安装在工艺反应腔内的若干内置测温热电偶，每支长度各不相同，位置与外加热装置的测温热电偶位于同一切面，与外加热装置的测温热电偶一一对应。
3.根据权利要求2所述的一种真空热处理炉上的内置热电偶监控装置，其特征在于：所述热电偶密封装置包括压紧螺母、压紧垫圈、密封圈，每一支内置测温热电偶各通过一套热电偶密封装置进行密封。
4.根据权利要求3所述的一种真空热处理炉上的内置热电偶监控装置，其特征在于：所述内置测温热电偶通过连接件，连接热电偶补偿导线，连接至控温系统，用于控温外部加热装置加热和监测工艺反应腔内的温度。
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