[实用新型]一种单晶炉自冷却装置

权利要求书

1.一种单晶炉自冷却装置，包括下炉室、钳锅旋转装置（6）、上炉盖（2），上炉室（1）和晶体旋转及升降装置，其中上炉室（1）包括加热器、钳锅石墨托和钳锅托杆（11），其特征在于：还包括上冷却系统、主冷却系统和控制箱（7），其中所述主冷却系统包括主冷却盘管（8）和副冷却管（9），所述主冷却盘管（8）设在加热器和钳锅石墨托之间，所述主冷却盘管（8）的下方设有安装盘（81）并固定在钳锅托杆（11）上，所述主冷却盘管（8）下端延伸至上炉室（1）外部并在器尾端设有进水阀A （83）和出水阀A （82），所述进水阀A （83）和出水阀A （82）通过出水管（12）与控制箱（7）相连，所述钳锅托杆（11）尾端连接钳锅旋转装置（6）；所述副冷却管（9）安装在上炉盖（2）内并且其向内设有副冷却盘管（92），所述副冷却管（9）上设有温度传感器（91）和循环泵（93），所述副冷却管（9）和控制箱（7）之间设有进水阀B和出水阀B；

所述上冷却管（10）设在上炉腔（3）内壁，所述上冷却管（10）的上端与晶体旋转及升降装置上的连杆相连，其下端设有出水管（12），所述出水管（12）与上炉腔（3）相连，所述出水管（12）与上冷却管（10）之间设有流量控制阀（101），所述上冷却管（10）和副冷却盘管（92）相互连通，并由控制箱（7）控制水流循环。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉自冷却装置，其特征在于：所述控制箱（7）内设有控制器、冷水箱、循环泵（93）和冷凝器，所述控制箱（7）表面设有控制面板，所述温度传感器（91）、流量控制阀（101）、循环泵（93）、冷凝器、进水阀A （83）和出水阀A （82）以及进水阀B和出水阀B均与控制器电性连接。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉自冷却装置，其特征在于：所述控制器分为运行冷却控制器和停炉冷却控制器，所述运行冷却控制器与上冷却管（10）和副冷却管（9）相连，所述停炉冷却控制器与主冷却盘管（8）相连。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉自冷却装置，其特征在于：所述主冷却盘管（8）呈螺旋状围绕在钳锅石墨托周围，所述主冷却盘管（8）的尾端也呈螺旋状套在钳锅托杆（11）上。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉自冷却装置，其特征在于：所述安装盘（81）焊接在主冷却盘管（8）下端的螺旋状内直径圆的侧壁上，所述安装盘（81）上表面设有卡槽（811），所述卡槽（811）呈三角形并围绕安装盘（81）的圆心均匀分布。

6.根据权利要求5所述的一种单晶炉自冷却装置，其特征在于：所述钳锅托杆（11）与安装盘（81）连接的位置设有固定盘（111），所述固定盘（111）通过螺栓固定在钳锅托杆（11）上，并在其下表面设有与卡槽（811）相匹配的凸起（1111），所述安装盘（81）通过卡槽（811）和凸起（1111）相互契合安装在一起，并通过销钉固定住。

7.根据权利要求1所述的一种单晶炉自冷却装置，其特征在于：所述副冷却管（9）为圆环状并围绕在上炉盖（2）周围，所述副冷却盘管（92）的形状为三角形，并且具有一定厚度，所述冷却盘管与水平面具有一定角度，所述副冷却盘管（92）的数量为2-6个，并均匀设在上炉盖（2）边缘。

8.根据权利要求1所述的一种单晶炉自冷却装置，其特征在于：所述副冷却盘管（92）与上炉盖（2）连接位置、主冷却盘管（8）与下炉室和主冷却盘管（8）之间均设有密封圈，所述主冷却盘管（8）与密封圈之间还设有密集软刷。

9.根据权利要求2所述的一种单晶炉自冷却装置，其特征在于：所述冷水箱与水管（12）连接的位置设有过滤器（71）。

10.根据权利要求1所述的一种单晶炉自冷却装置，其特征在于：所述进水阀A （83）、出水阀A （82）、进水阀B和出水阀B均为电磁阀。