[实用新型]一种防溅射的蒸发电热板

权利要求书

1.一种防溅射的蒸发电热板，包括底座（1）和加热板（2），所述底座（1）中设置有高频电磁线圈，其特征在于：还包括连接于底座（1）的弹性支架，所述弹性支架末端连接有托环（10）。

2.如权利要求1所述的一种防溅射的蒸发电热板，其特征在于：所述弹性支架包括连接于底座（1）的立柱（4），以及从立柱（4）向加热板（2）上方延伸的弹簧（8），所述托环（10）通过连杆（9）连接于弹簧（8）外端。

3.如权利要求2所述的一种防溅射的蒸发电热板，其特征在于：所述立柱（4）上固定连接有环形的托台（11），所述立柱（4）上还连接有滑套（12），所述滑套（12）下端贴合托台（11）上表面，所述弹簧（8）的内端固定连接于滑套（12）的外壁。

4.如权利要求2所述的一种防溅射的蒸发电热板，其特征在于：所述立柱（4）通过夹持机构连接于底座（1）。

5.如权利要求4所述的一种防溅射的蒸发电热板，其特征在于：所述夹持机构包括固定连接于立柱（4）底端的固定夹板（5），滑动连接于立柱（4）的滑动夹板（7），以及套在立柱（4）上、两端分别连接固定夹板（5）和滑动夹板（7）的拉力弹簧（6）。