[实用新型]一种长波长LED外延垒晶片及芯片及全彩发光体有效
申请号: | 201820089998.0 | 申请日: | 2018-01-19 |
公开(公告)号: | CN208093581U | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
发明(设计)人: | 颜建锋;敖辉;彭泽洋;庄文荣;孙明 | 申请(专利权)人: | 东莞市中晶半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/06 | 分类号: | H01L33/06;H01L33/24;H01L33/48 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 523500 广东省东莞市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 量子阱 长波长 缓冲层 晶片 本实用新型 全彩发光体 电性性能 衬底 生长 芯片 衬底上表面 垂直生长 多量子阱 沉积 制备 | ||
1.一种长波长LED外延垒晶片,其特征在于,包括:外延垒晶衬底、CaN 基外延垒晶层,外延垒晶衬底上表面依次垂直生长有CaN 基外延垒晶层,CaN 基外延垒晶层包括:
缓冲层:在n型CaN与外延垒晶衬底之间生长CaN缓冲层;
n型CaN:生长于CaN缓冲层之上,量子阱之下;
InCaN量子阱:为多量子阱,量子阱≥7对,在n型CaN与p型CaN之间,在CaN量子阱中分布沉积有降低带宽间隙的物质;
p型CaN: 生长于InCaN量子阱之上。
2.根据权利要求1所述的长波长LED外延垒晶片,其特征在于,其中所述InCaN量子阱中进一步包含Al,为AlInCaN量子阱。
3.根据权利要求1所述的长波长LED外延垒晶片,其特征在于,其中所述在InCaN量子阱中分布沉积有降低带宽间隙的物质,其中降低带宽间隙的物质为C,C在量子阱中的分布范围为1016——1020cm-3。
4.根据权利要求1所述的长波长LED外延垒晶片,其特征在于,其中所述外延垒晶衬底选自:蓝宝石衬底、碳化硅衬底、硅衬底、 CaN衬底、AlN 衬底、ZnO衬底、ZnSe衬底、GaP衬底、GaAs衬底中的一种,或两种或两种以上的复合衬底。
5.根据权利要求4所述的长波长LED外延垒晶片,其特征在于,其中所述外延垒晶衬底材料选自蓝宝石衬底、CaN衬底其中的一种,或两种复合衬底。
6.根据权利要求1所述的长波长LED外延垒晶片,其特征在于,其中所述的CaN 基外延垒晶层包括:缓冲层、n型CaN、量子阱、p型CaN,CaN 基外延垒晶层总厚度为h,控制垒晶层厚度0.35µm<h<6µm。
7.根据权利要求1所述的长波长LED外延垒晶片,其特征在于,其中所述量子阱为多量子阱,量子阱≥7对,其中分布有C的量子阱为以外延垒晶衬底为下,从下至上第三对量子阱之后的量子阱中。
8.根据权利要求7所述的长波长LED外延垒晶片,其特征在于,其中所述C在分布有C的量子阱中的分布范围为1016——1020cm-3之间。
9.根据权利要求1所述的长波长LED外延垒晶片,其特征在于,包括外延垒晶衬底、CaN基外延垒晶层,外延垒晶衬底上表面依次垂直生长有CaN 基外延垒晶层,CaN 基外延垒晶层厚度为h,控制垒晶层厚度0.35µm<h<6µm包括:
缓冲层:在n型CaN与外延垒晶衬底之间生长CaN缓冲层;
n型CaN:生长于CaN缓冲层之上,量子阱之下;
AlInCaN量子阱:为多量子阱,量子阱≥7对,在第4对量子阱开始量子阱中C的分布范围为1016——1020cm-3之间;
p型CaN: 生长于CaN量子阱之上。
10.一种用权利要求1-9任一项所述的长波长LED外延垒晶片制备的LED芯片,其特征在于,包括:衬底、缓冲层、n型CaN、分布沉积有C的量子阱、p型CaN及分别制备于n型CaN层、p型CaN层之上的n电极和p电极。
11.一种用于电子显示器的LED全彩发光体,其特征在于,包括:基板及固定在基板上的LED芯片:
第一基板划分有像素点区域,制备有同电压电路;
LED芯片包括三原色芯片,其中红光芯片为权利要求10所述的LED芯片;
每组三原色LED芯片包括红、绿、蓝三种色光的LED芯片各一个,与一个像素点区域对应固定于基板;
LED芯片与第一基板上的同电压电路电性连接。
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