[实用新型]一种单片湿法蚀刻工艺的蚀刻液输送装置

权利要求书

1.一种单片湿法蚀刻工艺的蚀刻液输送装置，包括依次通过输送管路连接的药液槽、循环泵、调温装置、第一节流阀、刻蚀腔和回收阀，所述回收阀的蚀刻液输出端与药液槽的蚀刻液输入端通过输送管路连接，使所述蚀刻液输送装置形成循环回路，其特征在于：所述第一节流阀的蚀刻液输出端之后、刻蚀腔的蚀刻液输入端之前，设有连接至药液槽的回流管路。

2.根据权利要求1所述的单片湿法蚀刻工艺的蚀刻液输送装置，其特征在于：所述回流管路的蚀刻液输入端管路从上方接入所述第一节流阀的蚀刻液输出端之后的输送管路。

3.根据权利要求2所述的单片湿法蚀刻工艺的蚀刻液输送装置，其特征在于：所述回流管路的蚀刻液输入端管路与第一节流阀的蚀刻液输出端管路是相互垂直的。

4.根据权利要求1或2所述的单片湿法蚀刻工艺的蚀刻液输送装置，其特征在于：所述回流管路上设有回流节流阀。

5.根据权利要求1所述的单片湿法蚀刻工艺的蚀刻液输送装置，其特征在于：所述调温装置与第一节流阀之间设有连接至药液槽的循环管路，所述循环管路上设有自循环节流阀。

6.根据权利要求5所述的单片湿法蚀刻工艺的蚀刻液输送装置，其特征在于：所述循环管路的蚀刻液输入端管路与调温装置的蚀刻液输出端管路是相互垂直的。

7.根据权利要求1-3、5、6任一所述的单片湿法蚀刻工艺的蚀刻液输送装置，其特征在于：在所述回流管路与第一节流阀输出端连接点之后、在刻蚀腔的蚀刻液输入端之前，设有第二节流阀。

8.根据权利要求7所述的单片湿法蚀刻工艺的蚀刻液输送装置，其特征在于：所述第二节流阀的蚀刻液输出端与刻蚀腔的蚀刻液输入端之间设有回吸阀。

9.根据权利要求1所述的单片湿法蚀刻工艺的蚀刻液输送装置，其特征在于：所述刻蚀腔的蚀刻液输出端与药液槽的蚀刻液输入端之间设有排液阀。

10.根据权利要求1所述的单片湿法蚀刻工艺的蚀刻液输送装置，其特征在于：所述调温装置具有冷却或加热的功能。