[实用新型]槽边缘倒角刀具有效
申请号: | 201820084622.0 | 申请日: | 2018-01-18 |
公开(公告)号: | CN207757893U | 公开(公告)日: | 2018-08-24 |
发明(设计)人: | 李来斌 | 申请(专利权)人: | 沈阳汉科半导体材料有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 110000 辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 槽边缘 倒角刀具 刀具刀头 刀具主体 本实用新型 切面 长条形 固定槽 凸字形 硅片 倒角 划伤 | ||
本实用新型涉及槽边缘倒角刀具。该槽边缘倒角刀具包括:刀具主体、刀具刀头,所述刀具主体上设有长条形固定槽,所述刀具主体两端设有刀具刀头,所述刀具刀头的切面为凸字形。本实用新型提供的槽边缘倒角刀具,实现对产品的槽边缘均匀倒角,大大改善了产品的质量,减少对硅片的划伤,有效避免了产品颗料的产生。
技术领域
本实用新型涉及硅片切割技术领域,尤其涉及槽边缘倒角刀具。
背景技术
目前,传统的切槽边缘采用的火抛光过渡,倒角不均,对硅片的切割大多使用刀具刀头边缘为直角的技术,容易造成不倒角或抛光倒角后不均匀,与图纸尺寸存在较大的差异,对使用过程中划伤产品,造成颗粒,影响产品的质量问题,无法充分改善槽边缘的形状,减少产品对硅片的划伤,避免产品颗料的产生的问题。
发明内容
针对现有技术的上述缺陷,本实用新型提供的槽边缘倒角刀具,解决了上述技术问题,提供一种改变刀具的切面形状,实现对产品的槽边缘均匀倒角,大大改善了产品的质量的槽边缘倒角刀具。
为了达到上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
槽边缘倒角刀具包括:刀具主体、刀具刀头,所述刀具主体上设有长条形固定槽,所述刀具主体两端设有刀具刀头,所述刀具刀头的切面为凸字形,所述刀具刀头的顶部两侧为两个内凹的弧形。
其中,所述刀具主体固定在装卡到机床上。
其中,所述刀具主体为圆柱形,刀具主体上设有贯穿的长条形固定槽。
其中,所述刀具主体两端设有相同的刀具刀头。
其中,所述刀具主体的调整刀摆<0.03度。
本实用新型的有益效果是:本实用新型提供的槽边缘倒角刀具,充分改善槽边缘的形状,减少产品对硅片的划伤,有效避免了产品颗料的产生。
为了能更进一步了解本实用新型的特征以及技术内容,请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图,然而附图仅提供参考与说明用,并非用来对本实用新型加以限制。
附图说明
下面结合附图,通过对本实用新型的具体实施方式详细描述,将使本实用新型的技术方案及其它有益效果显而易见。
图1是本实用新型槽边缘倒角刀具的结构示意图。
图2是传统的切槽刀具的结构示意图。
图3是本实用新型槽边缘倒角刀具的刀具刀头结构示意图。
图4是本实用新型槽边缘倒角刀具的刀具刀头剖视图。
图5是本实用新型槽边缘倒角刀具的被切工件结构示意图。
图6是本实用新型槽边缘倒角刀具的刀具主体工作及运动轨迹示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本实用新型所采取的技术手段及其效果,以下结合本实用新型的优选实施例及其附图进行详细描述。
请参阅图1至图6,槽边缘倒角刀具包括:刀具主体1、刀具刀头2,所述刀具主体1上设有长条形固定槽,所述刀具主体1两端设有刀具刀头2,所述刀具刀头2的切面为凸字形,所述刀具刀头2的顶部两侧为两个内凹的弧形。
进一步,所述刀具主体1固定在装卡到机床上。
进一步,所述刀具主体1为圆柱形,刀具主体1上设有贯穿的长条形固定槽。
进一步,所述刀具主体1两端设有相同的刀具刀头。
进一步,所述刀具主体1的调整刀摆<0.03度。
以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。
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