[实用新型]一种射频等离子灯炬卡具

权利要求书

1.一种射频等离子灯炬卡具，所述射频等离子灯炬卡具上端通过封装结构A(8)与绝缘封装管(9)相连，下端通过封装结构B(10)与等离子灯炬(11)相连，其特征在于：所述射频等离子灯炬卡具包括上卡座(1)、下卡座(2)和连接件(3)，所述上卡座(1)和下卡座(2)通过连接件(3)相连，所述上卡座(1)与连接件(3)采用螺纹连接，所述下卡座(2)与连接件(3)采用螺栓连接，所述上卡座(1)顶部中心处设置有绝缘封装管接口(4)，通过所述封装结构A(8)与绝缘封装管(9)相连，所述上卡座(1)上设置有所述等离子灯炬(11)的主气入口(5)和边气入口(6)，所述下卡座(2)上设置有射频等离子灯炬管壁循环冷却水进出口(7)。

2.根据权利要求1所述的射频等离子灯炬卡具，其特征在于：所述上卡座(1)、下卡座(2)和连接件(3)的材质为不锈钢。

3.根据权利要求1所述的射频等离子灯炬卡具，其特征在于：所述主气入口(5)的数量为2个，沿所述上卡座(1)圆周对称布置，采用直线进气或切线进气。

4.根据权利要求1所述的射频等离子灯炬卡具，其特征在于：所述边气入口(6)的数量为2～4个，沿所述上卡座(1)圆周均匀分布，切线进气。

5.根据权利要求1所述的射频等离子灯炬卡具，其特征在于：所述绝缘封装管接口(4)与封装结构A(8)采用螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的射频等离子灯炬卡具，其特征在于：所述下卡座(2)的下端与封装结构B(10)采用螺纹连接。

7.根据权利要求1所述的射频等离子灯炬卡具，其特征在于：所述的主气和边气采用氦气或氩气，主气流量为10～100L/min，边气流量为20～300L/min，所述氦气或氩气纯度不低于99.995％。

8.根据权利要求1所述的射频等离子灯炬卡具，其特征在于：所述射频等离子灯炬卡具的耐正压大于1MPa，内腔真空度可达10^-4Pa。