[实用新型]一种用于还原尾气高纯硅粉收集器

说明书

本实用新型公开了一种用于还原尾气高纯硅粉收集器，具有罐体，罐体上设有进气管、旋风分离器和气体出口，所述罐体为圆柱体结构且为收集器主体，所述的进气管设于罐体的顶部，进气管的上端凸出于罐体外部、下端与所述旋风分离器连通；旋风分离器设于罐体内部且具有多个，每个旋风分离器的上部都与所述进气管连通，旋风分离器围绕罐体中心环形均匀布置，旋风分离器内部具有螺旋形的流道使得气体产生螺旋形流向，旋风分离器的下端设有翼阀。本实用新型的优点：维护成本低，还可以回收高纯硅粉，用于氮化硅厂家原料，而且，高纯硅粉收集后，进入下游的硅粉量极大降低，可有效保护下游设备的免受磨损、堵塞，对下游的平稳运行，起了很好的保障作用。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅还原装置高纯硅粉收集相关技术领域，具体涉及一种用于还原尾气高纯硅粉收集器。

背景技术

还原尾气夹带的细硅粉温度高，压力高，硅粉非常细，平均粒径不到5微米，最大粒径不超过10微米。如果不及时去除还原尾气中的硅粉，会导致下游管道及设备磨损严重，也会产生堵塞，不利于装置的平稳运行。而且这么细的硅粉进入下游后，无法回收，而这种粒度的高纯硅粉是生产氮化硅的理想原料，因此细硅粉进入下游造成了资源浪费。

目前该行业的国内及国外企业，还没有对还原尾气中的细硅粉进行回收，任由其进入下游CDI装置，随着气相冷凝后，再用过滤器将细硅粉过滤下来，但是由于硅粉非常细，过滤器反冲洗频率很高，压降较大，更换频率很高，所以成本较高，而且会造成液相输送泵故障率较高。而且过滤器滤芯非常容易堵塞，需要经常更换过滤器，维护成本极高。

本实用新型利用维护成本几乎可以忽略的旋风分离器分离这种细硅粉，得到的细硅粉可以作为氮化硅原料，回收了一部分成本，这不但有效保护了下游设备及管道，减轻其磨损，而且减轻了下游处理成本。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了弥补现有技术的不足，提供了一种维护简单、收集效果好的用于还原尾气高纯硅粉收集器。

为了达到本实用新型的目的，技术方案如下：

一种用于还原尾气高纯硅粉收集器，具有罐体，其特征在于，所述罐体上设有进气管、旋风分离器和气体出口，所述罐体为圆柱体结构且为收集器主体，所述的进气管设于罐体的顶部，进气管的上端凸出于罐体外部、下端与所述旋风分离器连通；旋风分离器设于罐体内部且具有多个，每个旋风分离器的上部都与所述进气管连通，旋风分离器围绕罐体中心环形均匀布置，旋风分离器内部具有螺旋形的流道使得气体产生螺旋形流向，旋风分离器的下端设有翼阀。

优选地，罐体下部设有硅粉收集器，硅粉收集器的底部设有硅粉下料口；罐体内部上端具有集气室，气体出口位于罐体侧顶部并与所述集气室连通。

本实用新型具有的有益效果：

维护成本低，还可以回收高纯硅粉，用于氮化硅厂家原料，而且，高纯硅粉收集后，进入下游的硅粉量极大降低，可以有效保护下游设备的免受磨损、堵塞，对下游的平稳运行，起了很好的保障作用。

附图说明

图1是本实用用于还原尾气高纯硅粉收集器的结构示意图；

图2为图1的俯视结构示意图；

图3为图1的A-A向结构示意图。

具体实施方式

下面结合实施例对本实用新型作进一步描述，但本实用新型的保护范围不仅仅局限于实施例。