[实用新型]遮热板以及真空蒸镀设备总成

说明书

本实用新型公开了一种遮热板以及真空蒸镀设备总成，其中前者包括遮热板本体和设置于遮热板本体上且向第一方向延伸的第一凸起和向第二方向延伸的第二凸起；第一凸起和第二凸起的位置相互交错，其中所述第一方向和所述第二方向相反。在遮热板本体的两侧分别设置第一凸起和第二凸起，明显增加了遮热板的隔热效果，且延长了遮热板的使用寿命，因此无需频繁更换遮热板，降低了设备的维护成本。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制备技术领域，尤其涉及一种遮热板以及真空蒸镀设备总成。

背景技术

随着地球上石油、煤炭等自然资源日益减少，开发新的自然资源成为当务之急，目前，太阳能以其清洁的优势成为开发的重点。

太阳能的利用，主要是通过太阳能电池将太阳光辐射转换成电能和热能等人类可以利用的资源。高效异质结太阳能电池以其高效的优势成为发展重点，在制备异质结太阳能电池时，需要首先制备电池片，电池片的制备多采用在基片的两侧表面沉积膜层的方式加工完成，在基片的两侧表面沉积膜层时，会用到真空蒸镀设备。

真空蒸镀设备上设置有工艺腔室，工艺腔室中设置有蒸镀源，基片多放置于蒸镀源的对面，加工时，利用蒸镀源提供的高温溅射原子，在真空状态下，沉积在基片上形成膜层。

上述加工过程需要在高真空和高温环境下进行，因此对工艺腔室的保温和密封性的要求较为苛刻，然而真空腔室的内壁一般多为不锈钢(X5CrNi18)材质，这种材料在达到680K以上的高温时，容易与加工太阳能电池的工艺原材料发生反应，从而腐蚀工艺腔室的内壁，降低真空蒸镀设备的使用寿命，同时，工艺腔室的内表面的高温会损坏其它元器件，也不利于设备安全性。因此，对工艺腔室的内表面做隔热防护处理为当务之急。

目前，为了解决上述问题，在工艺腔室的内壁上设置一层遮热板，该遮热板采用喷砂不锈钢制成。但是实际使用过程中，发现该遮热板隔热效果不够理想，另外该遮热板的使用寿命有限，需要定期更换，增加了设备的维护成本。

实用新型内容

本实用新型提供了一种遮热板以及真空蒸镀设备总成，以解决上述问题，提高隔热效果，延长使用寿命，降低设备维护成本。

本实用新型提供了一种遮热板，包括遮热板本体和设置于所述遮热板本体上且向第一方向延伸的第一凸起和向第二方向延伸的第二凸起；

所述第一凸起和所述第二凸起的位置相互交错，其中所述第一方向和所述第二方向相反。

如上所述的遮热板，其中，优选的是，所述第一凸起和所述第二凸起的形状均为圆锥体，所述圆锥体的底部与所述遮热板本体固定连接。

如上所述的遮热板，其中，优选的是，所述第一凸起和所述第二凸起为由所述遮热板本体冲压形成的空心的圆锥体。

如上所述的遮热板，其中，优选的是，所述第一凸起和所述第二凸起的顶角的角度均为25度至35度。

如上所述的遮热板，其中，优选的是，所述遮热板本体的厚度为0.3毫米至0.7毫米之间。

如上所述的遮热板，其中，优选的是，相邻的两所述第一凸起的顶尖之间的间隔为所述遮热板本体的厚度的20至25倍。

如上所述的遮热板，其中，优选的是，相邻的所述第一凸起和所述第二凸起的顶尖之间的间隔为所述遮热板本体的厚度的10至13倍。

如上所述的遮热板，其中，优选的是，所述第一凸起和所述第二凸起的高度均为所述遮热板本体的厚度的1.15至1.5倍。

本实用新型还提供了一种真空蒸镀设备总成，包括：

工艺腔室，所述工艺腔室的内壁上设置上述任意一种遮热板。