[实用新型]一种不锈钢退火保护内罩

说明书

本实用新型公开了一种不锈钢退火保护内罩，包括加热元件，所述加热元件安装在退火内罩的内部最上端，所述加热元件上左右两侧设置有向下伸出的加热丝，所述加热元件最左端穿过退火内罩并设置在退火内罩左端外部，通过在该不锈钢退火保护内罩外部的外壳右侧内部增加了一个辅助退火装置，且该辅助退火装置固定安装在炉门的内壁上，这样能够加快不锈钢退火保护内罩对物料的退火速度，和传统的气冷装置形成双重退火作用，从而增加退火效率，并且该辅助退火装置的动能主要是通过气冷装置的风力进行传动，这样就不需要连接外部的电源，从而使得该辅助退火装置不浪费多余能源，从而达到减小其使用成本却能够加快退火效率的目的，同时具有节能减排的效果。

技术领域

本实用新型属于退火炉相关技术领域，具体涉及一种不锈钢退火保护内罩。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

现有的退火保护内罩技术存在以下问题：现有的退火保护内罩退火比较单一，这样会影响退火炉内部的退火速度，不能够节约能源。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种不锈钢退火保护内罩，以解决上述背景技术中提出的退火炉的退火功能单一且退火效率过低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种不锈钢退火保护内罩，包括加热元件，所述加热元件安装在退火内罩的内部最上端，所述加热元件上左右两侧设置有向下伸出的加热丝，所述加热元件最左端穿过退火内罩并设置在退火内罩左端外部，所述加热元件下侧设置有料台，所述料台设置在退火内罩的内部最下侧，所述退火内罩的内壁上覆盖有保温层，所述退火内罩外部设置有外壳，所述加热元件最左端连接有向上伸出的水冷电极，所述水冷电极最上端穿过外壳最上端外壁并设置在外壳上端外部，所述外壳最左端外壁内部固定连接有安装块，所述安装块左端设置有气冷装置，所述外壳最右侧外壁上设置有炉门，所述炉门左端内壁上设置有辅助退火装置，所述辅助退火装置设置在外壳的右侧内部，所述外壳最下端两侧外壁上设置有向下伸出的支架，所述支架底部设置有横向放置的安放底座，所述水冷电极、加热元件、加热丝和气冷装置通过外部电源电性连接。

优选的，所述气冷装置上最左端外部设置有保护壳，所述保护壳固定安装在安装块的左端外壁上，所述保护壳内部设置有电机，所述电机右端设置有电机轴，所述安装块内部设置有轴承，所述电机轴穿过轴承并设置在外壳的内部，所述电机轴最左端外壁上设置有气冷风扇，所述气冷风扇设置在外壳的内部，所述电机通过外部电源电性连接。

优选的，所述辅助退火装置上最右端设置有横向的固定杆，所述固定杆固定连接在炉门的内壁上，所述固定杆最左端设置有固定套，所述固定套上下两侧设置有风叶。

优选的，所述风叶共设置有两片，且两片风叶分别安装在固定套的上下两端，所述风叶通过固定套实现圆周旋转运动。

优选的，所述支架共设置有两个，且两个支架分别安装在外壳底部两侧，所述两个支架底部通过焊接方式固定安装有安放底座。

优选的，所述气冷装置通过固定螺母固定安装在安装块上，所述安装块通过固定螺母固定安装在外壳的最左端。

与现有的技术相比，本实用新型的有益效果是：