[实用新型]蓝宝石长晶炉炉筒

说明书

本实用新型涉及一种蓝宝石长晶炉炉筒，包括炉筒外壁与炉筒内壁，所述炉筒外壁与炉筒内壁的上端设置有上法兰，炉筒外壁与炉筒内壁的下端设置有下法兰，所述上法兰和下法兰均通过焊接分别与所述炉筒外壁和炉筒内壁相连接，且上法兰和下法兰均为圆盘状，且两者的直径保持一致，所述上法兰的直径等于炉筒外壁的直径，所述炉筒外壁与炉筒内壁之间形成一个用于冷却的夹层，所述炉筒外壁与炉筒内壁形成的夹层中还设置有若干块用于水流导向的导流板，所述炉筒外壁上还设置有进水口与出水口。

技术领域

本实用新型涉及蓝宝石长晶设备领域，特别涉及一种蓝宝石长晶炉炉筒。

背景技术

蓝宝石炉是生长工艺极其复杂的长晶设备，由于蓝宝石单晶体必须在高温(约2050℃)与高真空的条件下缓慢生长而成，生长条件的控制要求非常严格，如生长速率、温场参数都会影响晶体的质量，冷却均匀性就显得非常重要。传统蓝宝石炉的炉筒采用的是在双层筒体中间设置有水冷夹层的形式，采用整体式的一个进水口一个出水口水道分布，水流通过从下往上的直上形式来实现炉筒温度的降低，这样的方式有以下两个缺陷：

1、水流向受水压力影响大，不能带动所有区域水循环流动，不利于炉筒中冷却水循环；

2、整体式的冷却通道的冷却效果不佳，带动热量不均匀，不能很好的降低炉筒温度；

因此，需要一种新型的蓝宝石长晶炉炉筒，来解决这个问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种蓝宝石长晶炉炉筒，用于快速带走炉筒内部的热量，实现快速冷却，解决冷却不均匀的问题。

本实用新型为解决其技术问题所采用的技术方案是，

蓝宝石长晶炉炉筒，包括炉筒外壁与炉筒内壁，所述炉筒外壁与炉筒内壁的上端设置有上法兰，炉筒外壁与炉筒内壁的下端设置有下法兰，所述上法兰和下法兰均通过焊接分别与所述炉筒外壁和炉筒内壁相连接，且上法兰和下法兰均为圆盘状，且两者的直径保持一致，所述上法兰的直径等于炉筒外壁的直径，所述炉筒外壁与炉筒内壁之间形成一个用于冷却的夹层，所述炉筒外壁与炉筒内壁形成的夹层中还设置有若干块用于水流导向的导流板，所述炉筒外壁上还设置有进水口与出水口；

所述导流板通过焊接分别与炉筒外壁和炉筒内壁相连接，若干块导流板和炉筒内壁之间交错固定，每块导流板的宽度保持一致；

进一步的，所述进水口设置于炉筒外壁下部位置，所述出水口设置于炉筒外壁上部位置，且所述进水口与出水口设置于同一垂直方向上，所述进水口与出水口上设置有接头座；

进一步的，所述炉筒外壁与炉筒内部之间形成的夹层通过若干块导流板分隔成的间距保持一致，每两块导流板之间通过斜线圆弧焊接而成；

本实用新型的优点在于，

该种蓝宝石长晶炉炉筒的炉筒外壁与炉筒内壁之间设置有导流板，通过该导流板将炉筒外壁与炉筒内壁内部分隔成从下至上的循环的圆周流道，使水流均匀快速且迅速带走内部热量，解决了内部冷却不均匀的问题，形成稳定的温场和热场，有利于提高晶体的成晶率，节约生产成本。

附图说明

图1是本实用新型提出的蓝宝石长晶炉炉筒的结构示意图；

1-上法兰；2-炉筒内壁；3-导流板；4-炉筒外壁；5-下法兰；6-进水口；7-出水口。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合图示与具体实施例，进一步阐述本实用新型。