[实用新型]一种腔体门打开装置

说明书

本实用新型公开了一种腔体门打开装置，腔体门连接推拉装置，推拉装置将腔体上的腔体门推开或者将打开的腔体门拉回腔体门洞；所述推拉装置设置在升降装置上，升降装置在底座上设置的线轨上升降。采用本实用新型的技术方案的有益效果为伸缩气缸进行伸缩实现开门和关门动作，运行平稳，且有缓冲装置；有电机实现上下移动，露出腔的进口，可以运行较重的门；由于是电控，每次运行的位置稳定，一致性好。

技术领域

本实用新型涉及到沉积镀膜的技术领域，具体设计到腔体的开门装置。

背景技术

现有的原子层沉积设备的腔体门的开门装置都是铰链式，铰链式的开门装置不能承受过重的腔体门，且腔体门打开范围不能太大。

本实用新型的技术方案中，腔体门已经不是传统的起到密闭作用的门，其又作为镀膜装置中的气体分布的喷淋板，是喷淋板与腔体门的结合，喷淋板内设有多个管道，其重量较重，普通的铰链式的开门装置已经不能满足开门的要求，普通的腔体门锁闭装置也不能满足腔体门的可靠的密封。

鉴于以上问题，本实用新型技术方案需要满足下技术问题的腔体门打开装置：可以适用于较重的门；开门占用的空间较小；稳定；经久耐用。

发明内容

本腔体门打开装置，主要为了实现两个动作，一个是将腔体门(带内腔体门)打开或关闭，此门包括内腔体门和外腔体门，内腔体门与外腔体门固定连接，所述外腔体门隔绝腔体内外，外腔体门将腔体内的环境与外部环境隔绝，内腔体门为喷淋板，门重量大，这种机构是在滑轨上进行的，所以摩擦力较小，能推动较重的门，只要气缸力大于由于门的重力而产生的摩擦力，就可以执行。门的上下运动是通过两边的丝杆和线轨组合使用，丝杆的端部装同步带轮，再用同一个同步带连上电机，做同步运动，使的打开的门做上下运动。

这样将内腔体的门洞露出，便于我们对内腔的装料和卸料。这种设计主要是解决用于较重门的关闭和升降设计的。

为了解决现有技术中存在的问题，本实用新型公开了一种腔体门打开装置，腔体门连接推拉装置，推拉装置将腔体上的腔体门推开或者将打开的腔体门拉回腔体门洞内；所述推拉装置设置在升降装置上，升降装置在底座上设置的线轨上升降。

推拉装置包括伸缩气缸、滑轨及腔体门连接机构，所述伸缩气缸的气缸杆通过腔体门连接机构与腔体门连接，伸缩气缸、滑轨固定在升降装置上，所述腔体门连接机构与滑轨活动连接。

腔体门连接机构设有两个，连接在腔体门的左右两侧；伸缩气缸设有两个，设置在腔体左右两侧；滑轨设有两套，布置在腔体的左右两侧。

腔体门需要打开时，气缸杆向外伸出，腔体门连接机构与滑轨活动连接，滑轨支撑腔体门连接机构，气缸杆推动腔体门连接机构沿滑轨向外移动，同时腔体门向外移动直到腔体门打开到位。

腔体门需要关闭时，气缸杆向内回缩，气缸杆推动腔体门连接机构沿滑轨向气缸方向移动，同时腔体门向腔体的门洞方向移动，直至腔体门回到腔体门洞内，腔体门关闭到位后，气缸保持着回拉腔体门的力矩，此时气缸相当于腔体门门锁。

优选的另一种技术方案是推拉装置的动力采用直线电机，推拉装置包括直线电机、减速机构、滑轨及腔体门连接机构，所述直线电机的通过减速机构、腔体门连接机构与腔体门连接，所述直线电机、滑轨固定在升降装置上，所述腔体门连接机构与滑轨活动连接。

腔体门打开后，腔体门在腔体的正前方，为了保证腔体门洞足够大，需要将腔体门移动，露出腔体门洞，此时，开门范围最大，为此本开门装置还设有升降装置。

升降装置包括电机、同步带及丝杆螺母，所述电机固定在腔体外的底座上，所述丝杆竖直安装在腔体的底座上；所述电机通过同步带带动丝杆转动，推拉装置通过固定板固定在螺母上；线轨固定在底座上，所述固定板与线轨滑动连接，固定板可沿线轨上下运动。