[实用新型]一种霍尔效应测试仪

说明书

本实用新型公开了一种霍尔效应测试仪，包括：样品台、设置在样品台底部的霍尔传感器、主控板、霍尔传感器恒流源、电压采集电路和计算机处理器；所述霍尔传感器恒流源连接所述霍尔传感器，用于给所述霍尔传感器恒流供电；所述电压采集电路分别连接到所述霍尔传感器和主控板；用于将采集的霍尔传感器的电压信号发送给所述主控板；所述计算机处理器连接所述主控板。本实用新型解决了现有技术中霍尔效应测试仪的磁场强度测定不便，影响测量准确度和数据稳定性的问题。

技术领域

本实用新型涉及一种霍尔效应测试仪。

背景技术

霍尔效应测试仪是用来测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要参数的，而这些参数是了解半导体材料电学特性必须预先掌控的，因此是理解和研究半导体器件和半导体材料电学特性必备的工具。除了用来测量上述参数之外，霍尔效应测试仪还可以用于判断半导体材料类型、磁流体发电、电磁无损探伤、用作霍尔传感器等。

目前常用的霍尔效应测试仪中使用的是经典的直流磁场范德堡法。这种方法对包括半导体在内的多种材料的成功测量有着悠久的历史。磁场是霍尔效应测试一个很重要的参数。磁场的大小、稳定性，直接影响了霍尔系数测试的结果。由于永磁铁的磁场会随高温环境、强磁场环境以及强烈震动等变化发生衰减。因此为保证霍尔系数的测试精度，在霍尔效应测试时对磁场的测试与标定是很有必要的。

实用新型内容

鉴于现有技术中存在的技术缺陷和技术弊端，本实用新型实施例提供克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种霍尔效应测试仪。

作为本实用新型实施例的一个方面，涉及一种霍尔效应测试仪，包括：样品台、设置在样品台底部的霍尔传感器、主控板、霍尔传感器恒流源、电压采集电路和计算机处理器；

所述霍尔传感器恒流源连接所述霍尔传感器，用于给所述霍尔传感器恒流供电；所述电压采集电路分别连接到所述霍尔传感器和主控板，用于将采集的霍尔传感器的电压信号发送给所述主控板；

所述计算机处理器连接所述主控板。

在一个实施例中，可以是，所述霍尔传感器恒流源通过稳压芯片对输入电压进行稳压处理。

在一个实施例中，可以是，所述霍尔传感器恒流源的恒流电路为双运放芯片搭建的郝兰德恒流源电路，所述恒流电路连接滑动变阻器，用于调节输出电流的大小。

在一个实施例中，可以是，所述电压采集电路包括精密仪表放大器，用于对输入电压信号进行放大。

在一个实施例中，可以是，所述电压采集电路还包括至少一个RC滤波电路，用于对采集的电压信号进行降噪过滤。

在一个实施例中，可以是，所述电压采集电路还包括数模转换器，所述数模转换器与所述精密仪表放大器连接，用于将运放输出的模拟信号转换为数字信号，传递给所述主控板。

在一个实施例中，可以是，所述数模转换器的正负参考电压端子连接参考电压电路，所述参考电压电路的输入端Ref连接外部参考电源。

在一个实施例中，可以是，所述主控板与所述计算机处理器通过串口连接。

在一个实施例中，可以是，所述计算机处理器连接有显示屏。

本实用新型实施例至少实现了如下技术效果：

本实用新型实施例提供的霍尔效应测试仪，通过在样品台的底部设置霍尔传感器，在霍尔传感器通过恒定电流的情况下，测量霍尔传感器的电压值，根据电压与磁场强度呈线性关系，实时测量当前磁场的大小，得到准确的磁场强度值，提高霍尔效应测试仪测量的准确度和数据稳定性。