[实用新型]一种具有精确定位接送片装置

说明书

一种具有精确定位接送片装置，包括底板框架(6)、传动机构、升降机构和芯片定位机构；所述的传动机构包括电机(1)、支架(2)、导杆(3)、第二导杆(11)、丝杆(4)、底座(5)；所述的支架(2)为两只安装丝杆的支架安装在底板框架(6)上，按照丝杆同轴线方向前后分布，所述支架上设有定位孔，在定位孔中间的位置安装丝杆，丝杆两侧下安装导杆(3)；支架(2)定位孔安装轴承，丝杆一端固定在轴承内，丝杆另一端穿过轴承孔且通过同轴的联轴器(7)连接电机，所述的电机安装在电机支架(8)上，电机轴通过连轴器(7)连接丝杆。

技术领域

本实用新型涉及芯片制备的工装技术领域，更具体地说，涉及芯片生产的传送工具。

背景技术

随着工业技术的日益发展，工业自动化在微电子行业的运用逐渐成熟。国内的电子行业日益发达，高技术的芯片生产项目在国内如雨后春笋，芯片生产加工在电子行业占据重要组成部门，特别是光刻技术在该领域起到重要的作用。

申请人在由光刻4寸芯片向6寸芯片技术的发展过程中，设备由接触式的光刻机，向步进式光刻机方向转化。在技术转化的过程中，相配套的涂胶显影设备精度要求相对提高，特别对涂胶过程中的中心对准要求比较高，在不增加过多的投入成本的基础上，需要对涂胶的芯片精确定位接送片装置开发和制造。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，针对现有技术中存在的手动定位不准确，导致涂胶膜厚疏密程度不一样，解决在后续光刻中发生产品制造不良。

本实用新型的目的通过以下技术方案实现，一种具有精确定位接送片装置，其特征是包括底板框架6、传动机构、升降机构和芯片定位机构；所述的传动机构包括电机1、支架2、导杆3、第二导杆11、丝杆4、底座5；所述的支架2为两只安装丝杆的支架安装在底板框架6上，按照丝杆同轴线方向前后分布，所述支架上设有定位孔，在定位孔中间的位置安装丝杆，丝杆两侧下安装导杆3；支架2定位孔安装轴承，丝杆一端固定在轴承内，丝杆另一端穿过轴承孔且通过同轴的联轴器7连接电机，所述的电机安装在电机支架8上，电机轴通过连轴器7连接丝杆；

所述的底板框架6上安装底座，底座中间设有与丝杆配合的螺纹，底座两侧是导向孔，导向孔使用直线轴承，与丝杆配合的螺纹与底座两侧导向孔三点固定底座；

所述的升降机构是安装在传动机构的底座上，所述的升降机构包括气缸10、芯片定位机构，气缸10通过螺丝固定在传动机构的底座上，气缸的运动端连接固定芯片定位机构12，所述的芯片的定位机构包括导向直线轴承13、第二导杆11、芯片定位槽14；第二导杆11穿过安装在芯片定位机构上的直线轴承13。

所述的底板框架6上安装底座，底座5中间设有与丝杆4配合的螺纹，底座5两侧是导向孔，导向孔使用直线轴承9，与丝杆4配合的螺纹与底座5两侧导向孔三点固定底座，保证底座的运动时的稳定性。

所述的升降机构是安装在传动机构的底座5上，所述的升降机构包括气缸10、第二导杆11、芯片定位机构12，气缸10通过螺丝固定在传动机构的底座5上，同时第二导杆11也按照设计的尺寸安装在传动机构的底座5上，气缸的运动端连接固定芯片定位机构12，所述的芯片的定位机构包括导向直线轴承13、芯片定位槽14。同时第二导杆11穿过安装在芯片定位机构上的第二直线轴承13，保证上下时的平行度。

所述的芯片的定位机构包括导向第二直线轴承13、芯片定位槽14。所述的导向直线轴承是连接升降机构的气缸10使用的，所述的芯片定位槽14是一个带有导向角的台阶，台阶根据芯片的大小设计而成，在前端大概100度角度的缺口，中间直径120毫米的镂空，形成叉盘状。

更进一步的，所述的使用传动丝杆，精度较高，形成满足定位中心点的要求，重复性较好。

更进一步的，所述的支架为不锈钢材质，清洁方便，对工艺没有污染。