[实用新型]电解液供应装置及电解铜箔制造装置

权利要求书

1.一种电解液供应装置，其特征在于，包括：

供应部，向阴极部和阳极部之间供应电解液；

输送部，将电解液从用于储存电解液的溶解槽输送到所述供应部；以及调节部，对向所述阴极部和所述阳极部之间供应的电解液的流量进行调节。

2.根据权利要求1所述的电解液供应装置，其特征在于，

所述供应部包括使从所述输送部输送的电解液穿过的多个供应孔，

多个所述供应孔以沿着与铜箔从所述阴极部开卷的开卷方向垂直的宽度方向互相隔开间隔的方式形成。

3.根据权利要求2所述的电解液供应装置，其特征在于，

所述输送部包括多个输送构件，所述输送构件以沿着所述宽度方向互相隔开间隔的方式设置于所述供应部。

4.根据权利要求3所述的电解液供应装置，其特征在于，

所述调节部包括分别设置于所述输送构件的多个调节机构，

多个所述调节机构单独地对各个所述输送构件向所述供应部输送的电解液的流量进行调节，以根据在所述阴极部和所述阳极部之间沿着所述宽度方向配置的供应区域而对电解液的流量进行控制。

5.根据权利要求3所述的电解液供应装置，其特征在于，

所述供应部包括N个所述供应孔，

所述输送部包括N个所述输送构件，其中N为大于2的自然数。

6.根据权利要求4所述的电解液供应装置，其特征在于，

所述输送构件分别包括使电解液穿过的多个流路，

所述调节机构对所述流路的开放程度进行调节，以调节穿过各个所述流路的电解液的流量。

7.根据权利要求1所述的电解液供应装置，其特征在于，

所述输送部包括多个输送构件，所述输送构件以沿着与铜箔从所述阴极部开卷的开卷方向垂直的宽度方向互相隔开间隔的方式设置于所述供应部，

所述调节部包括：测量机构，所述测量机构对从所述阴极部开卷的铜箔的、以宽度方向为基准的厚度分布进行测量；以及分别设置于所述输送构件的多个调节机构，

多个所述调节机构，根据所述测量机构测量的铜箔的厚度分布单独地对各个所述输送构件向所述供应部输送的电解液的流量进行调节，以根据所述供应区域对电解液的流量进行调节。

8.根据权利要求7所述的电解液供应装置，其特征在于，

所述调节部包括多个所述测量机构，

所述测量机构以沿着所述宽度方向互相隔开间隔的方式配置，以根据沿着所述宽度方向配置的测量区域，测量从所述阴极部开卷的铜箔的厚度。

9.一种电解铜箔制造装置，其包括权利要求1至8中任一项所述的电解液供应装置，其特征在于，还包括：

阴极部，利用电解液以电镀方式来使铜箔电解沉积；

阳极部，经由电解液与所述阴极部进行通电；

搬运部，对从所述阴极部开卷的铜箔进行搬运；

切割部，对从所述搬运部搬运的铜箔的两侧进行切割；以及

卷取部，对被所述切割部切割的铜箔进行卷绕。