[实用新型]一种液相工作介质供应系统

权利要求书

1.一种液相工作介质供应系统，其特征在于，包括挤压气体输入管路（1）、第一罐体（2）和工作介质输出管路（3），所述挤压气体输入管路（1）的输入端连接挤压气体的钢瓶，所述挤压气体输入管路（1）上依次设置有第一手动阀（4）、第一单向阀（5）、第一过滤器（6）、第一调压阀（7）和第一气动阀（8），所述挤压气体输入管路（1）的输出端连接第一罐体（2）的进气口，所述第一罐体（2）内储存有液相工作介质，所述工作介质输出管路（3）的输入端位于第一罐体（2）的底部，所述工作介质输出管路（3）上依次设置有第一三通阀（9）、第二三通阀（10）和第二手动阀（11），所述工作介质输出管路（3）的输出端连接复数个分支管路（12）的输入端，所述分支管路（12）上依次设置有第三手动阀（13）和第三气动阀（14），所述分支管路（12）的输出端连接工作管路。

2.如权利要求1所述的液相工作介质供应系统，其特征在于，所述挤压气体输入管路（1）外侧设置有第一旁通管路（15）和第二罐体（16），所述第一旁通管路（15）与挤压气体输入管路（1）的连接处位于第一调压阀（7）和第一气动阀（8）之间，所述第一旁通管路（15）上设置有第四气动阀（17），所述第一旁通管路（15）连接第二罐体（16）的进气口，所述工作介质输出管路（3）的外侧设置有第二旁通管路（18），所述第二旁通管路（18）的输入端位于第二罐体（16）的底部，所述第二旁通管路（18）上依次设置有第三三通阀（19），第四三通阀（20）和第四手动阀（21），所述第二旁通管路（18）的输出端连接分支管路（12）的输入端。

3.如权利要求1或2所述的液相工作介质供应系统，其特征在于，所述液相工作介质供应系统还包括吹扫气体输入管路（22）和吹扫气体输出管路（23），所述吹扫气体输入管路（22）的输入端连接吹扫气体的钢瓶，所述吹扫气体输入管路（22）上依次设置有第五手动阀（24）、第二单向阀（25）、第二过滤器（26）、第二调压阀（27）、第六手动阀（28）和第七手动阀（29），所述吹扫气体输入管路（22）与工作介质输出管路（3）之间设置有第三旁通管路（30），所述第三旁通管路（30）分别与吹扫气体输入管路（22）和工作介质输出管路（3）相连通，所述第三旁通管路（30）上设置有第五气动阀（31），所述第五气动阀（31）连接第二三通阀（10）的一端，所述吹扫气体输入管路（22）与分支管路（12）的连接处位于第三手动阀（13）和第三气动阀（14）之间，所述吹扫气体输出管路（23）的输入端连接第一三通阀（9）的一端，所述吹扫气体输出管路（23）上依次设置有第六气动阀（32）、第三单向阀（33）、第七气动阀（34）和第八手动阀（35），所述第八手动阀（35）连接吹扫气体输出管路（23）的输出端，所述吹扫气体输出管路（23）的外侧设置第七旁通管路（46），所述第七旁通管路（46）与吹扫气体输出管路（23）、第二旁通管路（18）相连通，所述第七旁通管路（46）的一端位于第三单向阀（33）、第七气动阀（34）之间，所述第七旁通管路（46）的另一端连接第三三通阀（19）的一端，所述第七旁通管路（46）上设置有第九气动阀（47）、第五单向阀（48）。

4.如权利要求3所述的液相工作介质供应系统，其特征在于，所述第七气动阀（34）外侧连接并设置有真空排放管路（36），所述真空排放管路（36）一端设置吹扫气体入口，所述真空排放管路（36）的另一端连通吹扫气体输出管路（23），所述真空排放管路（36）与吹扫气体输出管路（23）的连接处位于第三单向阀（33）、第七气动阀（34）之间，所述真空排放管路（36）上依次设置有微漏阀（37）和第四单向阀（38）。

5.如权利要求1或2所述的液相工作介质供应系统，其特征在于，所述挤压气体输入管路（1）外侧还设置有第四旁通管路（39），所述第四旁通管路（39）上设置有第一泄压阀（40），所述第四旁通管路（39）与挤压气体输入管路（1）的连接处位于第一调压阀（7）和第一气动阀（8）之间。